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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海中科飛測半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利一種晶圓邊緣區(qū)域測量裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120385284B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510886854.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/02；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓邊緣區(qū)域測量裝置及方法是由陳魯;盛浩;楊楠;張鵬斌設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-30向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓邊緣區(qū)域測量裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種晶圓邊緣區(qū)域測量裝置及方法，該裝置包括：第一光路結(jié)構(gòu)，用于從正面照明晶圓邊緣的第一待測區(qū)域，第一待測區(qū)域包括EBR的銑邊線；第二光路結(jié)構(gòu)，用于從背面照明晶圓邊緣的第二待測區(qū)域，第二待測區(qū)域包括邊緣頂點(diǎn)，且第二待測區(qū)域與第一待測區(qū)域關(guān)于晶圓相背設(shè)置；圖像采集單元，用于對第一待測區(qū)域進(jìn)行反射光成像和對第二待測區(qū)域進(jìn)行對射光成像，獲取包含銑邊線和邊緣頂點(diǎn)的待測圖像；處理單元，用于根據(jù)待測圖像中銑邊線與邊緣頂點(diǎn)的成像位置關(guān)系計(jì)算得到EBR操作區(qū)域的寬度。本發(fā)明使EBR的銑邊線和晶圓邊緣區(qū)域在同一圖像中成像，實(shí)現(xiàn)對銑邊線至邊緣頂點(diǎn)之間EBR操作區(qū)域?qū)挾鹊臏?zhǔn)確測量，降低量測誤差。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓邊緣區(qū)域測量裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓邊緣區(qū)域測量裝置，其特征在于，其包括： 第一光路結(jié)構(gòu)，用于從正面照明晶圓邊緣的第一待測區(qū)域，所述第一待測區(qū)域包括EBR的銑邊線； 第二光路結(jié)構(gòu)，用于從背面照明晶圓邊緣的第二待測區(qū)域，所述第二待測區(qū)域包括邊緣頂點(diǎn)，且所述第二待測區(qū)域與所述第一待測區(qū)域關(guān)于晶圓相背設(shè)置； 圖像采集單元，用于對所述第一待測區(qū)域進(jìn)行反射光成像和對所述第二待測區(qū)域進(jìn)行對射光成像，獲取包含所述銑邊線和所述邊緣頂點(diǎn)的待測圖像； 處理單元，用于根據(jù)所述待測圖像中所述銑邊線與所述邊緣頂點(diǎn)的成像位置關(guān)系計(jì)算得到EBR操作區(qū)域的寬度； 其中：所述第一待測區(qū)域覆蓋晶圓邊緣的平面區(qū)和斜面區(qū)，所述銑邊線設(shè)于晶圓邊緣的平面區(qū)； 所述第一光路結(jié)構(gòu)包括第一照明光源，所述第一照明光源發(fā)射的第一照明光以小于90°的入射角射向所述第一待測區(qū)域，且在晶圓邊緣的平面區(qū)和斜面區(qū)發(fā)生不同角度的反射，僅由晶圓邊緣的平面區(qū)反射的光束被配置為到達(dá)所述圖像采集單元； 所述第二光路結(jié)構(gòu)包括第二照明光源和光路折轉(zhuǎn)組件，所述第二照明光源發(fā)射的第二照明光射向所述第二待測區(qū)域，所述第二照明光的部分光束沿所述邊緣頂點(diǎn)直射到達(dá)所述圖像采集單元； 所述光路折轉(zhuǎn)組件設(shè)置于晶圓背面的外側(cè)空間，用于將所述第二照明光源發(fā)射的第二照明光通過折轉(zhuǎn)方式引導(dǎo)至所述第二待測區(qū)域。

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