珠海誠鋒電子科技有限公司焦超獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉珠海誠鋒電子科技有限公司申請的專利基于掩膜的晶圓缺陷分類系統及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120431093B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510926277.5，技術領域涉及：G06T7/00；該發明授權基于掩膜的晶圓缺陷分類系統及方法是由焦超;藍劍飛;張騰設計研發完成，并于2025-07-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于掩膜的晶圓缺陷分類系統及方法在說明書摘要公布了：本發明公開了基于掩膜的晶圓缺陷分類系統及方法，涉及晶圓缺陷分類技術領域，將每個缺陷區域的像素賦予對應的類別序號后形成標簽圖像，通過添加1x1卷積層將四通道輸入圖像轉換為三通道特征圖，將標簽圖像與三通道特征圖輸入圖像語義分割模型進行訓練，當有缺陷的晶圓圖像輸入訓練完成的圖像語義分割模型后，圖像語義分割模型進行推理，并輸出晶圓的缺陷定位與分類結果，根據缺陷定位與分類結果，對晶圓進行缺陷評估并生成缺陷報告。該分類系統將晶圓圖像與缺陷掩膜在通道方向拼接，所有缺陷區域通過一次分割推理就可以全部實現分類，不僅優化了圖像分割精度，還提高了處理效率，顯著提升了晶圓缺陷分類系統的性能和適用性。
本發明授權基于掩膜的晶圓缺陷分類系統及方法在權利要求書中公布了：1.基于掩膜的晶圓缺陷分類方法，其特征在于：所述分類方法包括以下步驟： 分類系統將包含缺陷的晶圓圖像與其對應的缺陷掩膜在通道方向拼接，形成四通道輸入圖像； 對缺陷掩膜中的每個缺陷區域進行類別標注，將每個缺陷區域的像素賦予對應的類別序號后形成標簽圖像； 通過添加1x1卷積層將四通道輸入圖像轉換為三通道特征圖； 將標簽圖像與三通道特征圖輸入圖像語義分割模型進行訓練； 當有缺陷的晶圓圖像輸入訓練完成的圖像語義分割模型后，圖像語義分割模型進行推理，并輸出晶圓的缺陷定位與分類結果； 根據缺陷定位與分類結果，對晶圓進行缺陷評估并生成缺陷報告。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人珠海誠鋒電子科技有限公司，其通訊地址為：519085 廣東省珠海市高新區唐家灣鎮科技七路1號4棟6樓02單元；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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