安徽大學朱明獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉安徽大學申請的專利基于多方向特征增強網絡的版圖光刻熱點檢測方法及系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120471922B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510971253.1,技術領域涉及:G06T7/00;該發明授權基于多方向特征增強網絡的版圖光刻熱點檢測方法及系統是由朱明;陳佩飛;從今;李志剛;彭春雨;吳秀龍;吳波;楊華光設計研發完成,并于2025-07-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于多方向特征增強網絡的版圖光刻熱點檢測方法及系統在說明書摘要公布了:本發明提供了基于多方向特征增強網絡的版圖光刻熱點檢測方法及系統,涉及光刻熱點檢測技術領域。本發明針對光刻版圖的檢測任務構建了一種多方向特征增強網絡,其包括:特征提取部、特征融合部、分類預測部;其中,特征提取部包括:4個特征提取層;每個特征提取層包括:頭部卷積層、多方向特征增強層、通道優先卷積注意力層、殘差連接層。本發明能夠提高網絡的敏感度和魯棒性,還能夠有效降低虛警、提升光刻版圖的檢測精度,實現復雜版圖場景下多類型缺陷的檢測精度與泛化性能的平衡。
本發明授權基于多方向特征增強網絡的版圖光刻熱點檢測方法及系統在權利要求書中公布了:1.一種基于多方向特征增強網絡的版圖光刻熱點檢測方法,其特征在于,包括:步驟一,獲取待檢測的光刻版圖P; 步驟二,將P輸入訓練好的多方向特征增強網絡進行處理以得到檢測結果Result;其中,多方向特征增強網絡包括: 特征提取部,其包括:4個特征提取層;第m個特征提取層的輸出作為第m+1個特征提取層的輸入;m∈[1,2,3];第1個特征提取層的輸入為P;第4個特征提取層的輸出為多方向特征X;特征提取層包括:頭部卷積層、多方向特征增強層、通道優先卷積注意力層、殘差連接層;在任一個特征提取層中:頭部卷積層用于對該特征提取層的輸入進行3×3的卷積處理,多方向特征增強層用于對頭部卷積層的輸出進行多方向特征提取及增強,通道優先卷積注意力層用于對多方向特征增強層的輸出進行空間和通道注意力計算,殘差連接層用于將該特征提取層的輸入與通道優先卷積注意力層的輸出進行相加以得到該特征提取層的輸出;多方向特征增強層包括:4個一類卷積層、3個父乘積層、3個二類卷積層、4個三類卷積層、1個特征捕捉層、3個注意力處理層、1個父疊加層;4個一類卷積層用于從多方向特征增強層的輸入Input分別提取出水平高頻、垂直高頻、對角高頻、低頻方向的特征; 特征融合部,其用于對X進行多尺度融合以得到多尺度特征Y;以及 分類預測部,其用于對Y進行分類預測以得到Result。
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