江蘇神州半導體科技有限公司尹巧星獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇神州半導體科技有限公司申請的專利基于射頻激勵的遠程等離子體穩定發生方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120499916B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510991165.8,技術領域涉及:H05H1/46;該發明授權基于射頻激勵的遠程等離子體穩定發生方法是由尹巧星;趙俊君設計研發完成,并于2025-07-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于射頻激勵的遠程等離子體穩定發生方法在說明書摘要公布了:本發明涉及等離子體發生技術領域,公開了基于射頻激勵的遠程等離子體穩定發生方法。該方法先基于預設的頻率范圍、功率強度和脈寬配置等激勵參數,采集等離子體發生所需的狀態監測數據,判斷其是否達到預設穩定閾值。若達標,依射頻發生器預設的含能量供給和任務需求的射頻激勵架構,構建對應激勵任務,識別能量分布,將射頻發生器作為主激勵節點,經傳輸線路調度,遠程動態分配任務至其他輔助發生節點,自適應調節連續、脈沖、混合等激勵模式。判斷輔助節點能否協同后,獲取狀態監測數據的核心、邊緣、過渡等敏感區域類別,應用含相位同步與幅值均衡的穩定控制策略直接調控,依參數約束設定限制參數波動,實現遠程等離子體穩定發生。
本發明授權基于射頻激勵的遠程等離子體穩定發生方法在權利要求書中公布了:1.基于射頻激勵的遠程等離子體穩定發生方法,其特征在于,包括以下步驟: 基于預設定的激勵參數,采集等離子體發生所需的狀態監測數據,其中,所述激勵參數具體包括頻率范圍、功率強度和脈寬配置; 判斷所述狀態監測數據是否達到預設穩定閾值; 若是,則根據射頻發生器預設的射頻激勵架構,構建所述狀態監測數據對應的激勵任務,識別所述激勵任務的能量分布,依據所述能量分布,將所述射頻發生器作為所述激勵任務的主激勵節點,通過傳輸線路進行激勵調度,在遠程動態分配所述激勵任務至其他預設的輔助發生節點,自適應調節所述射頻發生器的激勵模式,其中,所述射頻激勵架構具體包括能量供給和任務需求,所述激勵模式具體包括連續激勵、脈沖激勵和混合激勵; 判斷所述輔助發生節點能否協同所述主激勵節點進行激勵; 若能,則獲取所述狀態監測數據的敏感區域類別,基于所述敏感區域類別,應用預設的穩定控制策略對所述狀態監測數據進行直接調控,根據所述射頻發生器預設的參數約束設定,限制所述狀態監測數據的參數波動,其中,所述敏感區域類別具體包括核心區域、邊緣區域和過渡區域,所述穩定控制策略具體包括相位同步與幅值均衡,所述參數約束設定具體包括范圍限制和速率限制。
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