株式會社新川瀬山耕平獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會社新川申請的專利配置裝置及配置方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114402424B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080015443.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)配置裝置及配置方法是由瀬山耕平設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-08-20向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本配置裝置及配置方法在說明書摘要公布了：一種配置裝置以及配置方法，所述配置裝置包括：平臺，支撐基板；配置部，保持晶粒，且在由平臺支撐的基板上配置多個晶粒；以及控制部，具有基于由曝光裝置所形成的多個圖案彼此的位置關(guān)系而生成的表示多個晶粒的配置位置的地圖數(shù)據(jù)，且基于地圖數(shù)據(jù)，來控制在基板上配置多個晶粒時的平臺與配置部的相互的相對位置。
本發(fā)明授權(quán)配置裝置及配置方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種配置裝置，為了與包括由曝光裝置所形成的多個圖案的晶片貼合，而以與所述多個圖案對應(yīng)的方式在基板上配置多個晶粒，且所述配置裝置包括： 平臺，支撐基板； 配置部，保持所述晶粒，且在由所述平臺支撐的所述基板上配置所述多個晶粒；以及 控制部，具有基于由所述曝光裝置形成的所述多個圖案彼此的位置關(guān)系而生成的表示所述多個晶粒的配置位置的地圖數(shù)據(jù)，且基于所述地圖數(shù)據(jù)，來控制在所述基板上配置所述多個晶粒時的所述平臺與所述配置部的相互的相對位置， 所述曝光裝置針對包含所述多個圖案的每個曝光區(qū)域，在所述晶片上形成所述圖案， 所述地圖數(shù)據(jù)包含所述曝光區(qū)域間的位置關(guān)系，且 所述控制部基于所述曝光區(qū)域間的位置關(guān)系，將所述多個晶粒配置于所述基板。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人株式會社新川，其通訊地址為：日本東京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1(郵遞區(qū)號：208-8585)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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