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龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202080080972.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)用于確定光刻設(shè)備的控制數(shù)據(jù)的方法和設(shè)備是由M·A·T·范欣斯貝格;J·R·唐斯;E·J·M·弗杜門(mén);J·F·F·克林坎梅爾;R·沃克曼;J·S·維爾登貝爾格;A·J·尤班茨約克;L·J·J·維澤設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-10-15向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本用于確定光刻設(shè)備的控制數(shù)據(jù)的方法和設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：一種用于確定輸入的方法，該輸入被輸入至透鏡模型，以在對(duì)襯底的多個(gè)場(chǎng)中的至少一個(gè)場(chǎng)進(jìn)行尋址時(shí)，確定針對(duì)光刻設(shè)備的透鏡的操縱的設(shè)定值，所述方法包括：接收針對(duì)至少一個(gè)場(chǎng)的參數(shù)數(shù)據(jù)，該參數(shù)數(shù)據(jù)與襯底的在至少一個(gè)場(chǎng)內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)參數(shù)有關(guān)，該一個(gè)或多個(gè)參數(shù)至少部分地對(duì)透鏡的操縱敏感，透鏡的操縱作為通過(guò)光刻設(shè)備執(zhí)行的曝光的一部分；接收與透鏡相關(guān)的透鏡模型數(shù)據(jù)；基于參數(shù)數(shù)據(jù)和透鏡模型數(shù)據(jù)確定輸入。

本發(fā)明授權(quán)用于確定光刻設(shè)備的控制數(shù)據(jù)的方法和設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種用于確定輸入的方法，所述輸入被輸入至透鏡模型，以在對(duì)襯底的多個(gè)場(chǎng)中的至少一個(gè)場(chǎng)進(jìn)行尋址時(shí)，確定針對(duì)光刻設(shè)備的透鏡的操縱的設(shè)定值，所述方法包括： 接收針對(duì)所述至少一個(gè)場(chǎng)的參數(shù)數(shù)據(jù)，所述參數(shù)數(shù)據(jù)與所述襯底的在所述至少一個(gè)場(chǎng)內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)參數(shù)相關(guān)，所述一個(gè)或多個(gè)參數(shù)至少部分地對(duì)所述透鏡的操縱敏感，所述透鏡的操縱作為通過(guò)所述光刻設(shè)備執(zhí)行的曝光的一部分； 接收與所述透鏡相關(guān)的透鏡模型數(shù)據(jù)； 基于所述參數(shù)數(shù)據(jù)和所述透鏡模型數(shù)據(jù)，確定所述輸入。

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