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龍圖騰網(wǎng)獲悉川寶科技股份有限公司申請(qǐng)的專利決定基板的轉(zhuǎn)向的方法與曝光機(jī)臺(tái)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114815512B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110130508.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)決定基板的轉(zhuǎn)向的方法與曝光機(jī)臺(tái)是由張鴻明設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-01-29向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本決定基板的轉(zhuǎn)向的方法與曝光機(jī)臺(tái)在說明書摘要公布了：一種決定基板的轉(zhuǎn)向的方法與曝光機(jī)臺(tái)，該方法包含：將基板放置并定位于承載面上，使基板的第二表面面向承載面，基板的第一表面背向承載面且基板的第二表面上的第二標(biāo)記對(duì)應(yīng)于固定的第二圖像捕獲設(shè)備。通過承載面上方的第一圖像捕獲設(shè)備尋找第一表面上的第一標(biāo)記并采集第一標(biāo)記的第一圖像，以及通過第二圖像捕獲設(shè)備采集第二標(biāo)記的第二圖像。翻轉(zhuǎn)基板并放置于承載面上，使基板的第一表面面向承載面，且第一標(biāo)記對(duì)應(yīng)于第二圖像捕獲設(shè)備。基于采集的第一圖像，第二圖像捕獲設(shè)備確認(rèn)第一標(biāo)記，以及基于采集的第二圖像，第一圖像捕獲設(shè)備尋找并確認(rèn)第二標(biāo)記。基于確認(rèn)的第一標(biāo)記與確認(rèn)的第二標(biāo)記，決定翻轉(zhuǎn)后的基板的第二表面在承載面的投影的轉(zhuǎn)向。

本發(fā)明授權(quán)決定基板的轉(zhuǎn)向的方法與曝光機(jī)臺(tái)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種決定基板的轉(zhuǎn)向的方法，其中，該基板包含彼此相對(duì)的一第一表面與一第二表面以及一第一標(biāo)記與一第二標(biāo)記，該第一標(biāo)記位于該第一表面上，且該第二標(biāo)記位于該第二表面上，并且該第一標(biāo)記與該第二標(biāo)記彼此并非相對(duì)，上述方法包含： 提供一承載臺(tái)、一第一圖像捕獲設(shè)備與一第二圖像捕獲設(shè)備，其中該承載臺(tái)具有彼此相對(duì)的一承載面與一背面，該第一圖像捕獲設(shè)備配置于該承載面上方且適于相對(duì)于該承載臺(tái)作移動(dòng)，并且該第二圖像捕獲設(shè)備固定于該背面上； 將該基板放置并定位于該承載面上，使得該基板的該第二表面面向該承載面，該基板的該第一表面背向該承載面，且該第二標(biāo)記對(duì)應(yīng)于該第二圖像捕獲設(shè)備； 通過該第一圖像捕獲設(shè)備尋找該第一標(biāo)記并采集該第一標(biāo)記的一第一圖像； 通過該第二圖像捕獲設(shè)備采集該第二標(biāo)記的一第二圖像； 翻轉(zhuǎn)該基板并將該基板放置于該承載面上，使得該基板的該第一表面面向該承載面，該基板的該第二表面背向該承載面，且該第一標(biāo)記對(duì)應(yīng)于該第二圖像捕獲設(shè)備； 基于所采集的該第一圖像，該第二圖像捕獲設(shè)備確認(rèn)該第一標(biāo)記； 基于所采集的該第二圖像，該第一圖像捕獲設(shè)備尋找并確認(rèn)該第二標(biāo)記； 基于該第二圖像捕獲設(shè)備所確認(rèn)的該第一標(biāo)記與該第一圖像捕獲設(shè)備所確認(rèn)的該第二標(biāo)記，決定翻轉(zhuǎn)后的該基板的該第二表面在該承載面的一投影的該轉(zhuǎn)向。

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