株式會社愛發科若井雅文獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社愛發科申請的專利金屬布線結構體、金屬布線結構體的制造方法及濺射靶獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115485818B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180032239.5，技術領域涉及：H01L21/3205；該發明授權金屬布線結構體、金屬布線結構體的制造方法及濺射靶是由若井雅文;半那拓;中臺保夫;中村亮太設計研發完成，并于2021-06-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本金屬布線結構體、金屬布線結構體的制造方法及濺射靶在說明書摘要公布了：本發明提供一種低電阻且耐熱性、彎曲性優異的金屬布線結構體和金屬布線結構體的制造方法。為了實現上述目的，金屬布線結構體具有：金屬布線膜，其具有由鋁構成的主成分和添加在上述主成分中的包含0.005at％以上且0.88at％以下的鐵的添加元素；以及第一覆蓋層，其層疊在上述金屬布線膜。如果是這種金屬布線結構體，則可提供一種低電阻且耐熱性、彎曲性優異的金屬布線結構體。
本發明授權金屬布線結構體、金屬布線結構體的制造方法及濺射靶在權利要求書中公布了：1.一種金屬布線結構體，其具有： 金屬布線膜，其具有由鋁構成的主成分和添加在所述主成分中的包含0.005at％以上且0.88at％以下的鐵和0.01at％以上且0.05at％以下的釩的添加元素；以及 第一覆蓋層，其由TiN、MoN、WN、TaN、Ti、Mo、W或Ta構成，層疊在所述金屬布線膜。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社愛發科，其通訊地址為：日本神奈川縣；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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