廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院吁衛東獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院申請的專利顯影震蕩裝置、顯影裝置、顯影方法、制造方法及設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114035409B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111388897.6，技術領域涉及：G03F7/30；該發明授權顯影震蕩裝置、顯影裝置、顯影方法、制造方法及設備是由吁衛東;韋亞一;楊尚設計研發完成，并于2021-11-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本顯影震蕩裝置、顯影裝置、顯影方法、制造方法及設備在說明書摘要公布了：本申請公開了一種顯影震蕩裝置、顯影裝置、顯影方法、制造方法及設備。該顯影震蕩裝置包括震蕩控制裝置以及兩兩連接的計算控制裝置、水平探測裝置和機械臂；震蕩控制裝置用于控制機械臂運動的速度、頻率及方向；水平探測裝置用于獲取印制電路板基板的偏移數據，將偏移數據發送給計算控制裝置，并在計算控制裝置的控制下調整機械臂的位姿參數；計算控制裝置用于根據偏移數據計算出水平探測裝置的調整參數，基于調整參數控制水平探測裝置調整機械臂的位姿參數。本申請的顯影震蕩裝置能夠通過控制機械臂的運動的頻率與速度調整基板在顯影液中的震蕩參數，改善印制電路板在生產過程中由于光的衍射、漫反射等效應所導致的圖像邊緣有毛邊的缺陷。
本發明授權顯影震蕩裝置、顯影裝置、顯影方法、制造方法及設備在權利要求書中公布了：1.一種顯影震蕩裝置，其特征在于，包括震蕩控制裝置以及兩兩連接的計算控制裝置、水平探測裝置和機械臂； 所述機械臂用于抓取印制電路板基板以及將所述印制電路板基板浸入顯影液進行處理； 所述震蕩控制裝置與所述機械臂電連接，所述震蕩控制裝置用于控制所述機械臂運動的速度、頻率以及方向； 所述水平探測裝置用于獲取所述印制電路板基板的偏移數據，將所述偏移數據發送給所述計算控制裝置，并在所述計算控制裝置的控制下調整所述機械臂的位姿參數； 所述計算控制裝置用于根據所述偏移數據計算出所述水平探測裝置的調整參數，基于所述調整參數控制所述水平探測裝置調整所述機械臂的位姿參數； 所述震蕩控制裝置包括互相連接的延時控制裝置和電磁控制開關裝置； 所述電磁控制開關裝置與所述機械臂電連接，所述電磁控制開關裝置用于控制所述機械臂沿水平方向運動； 所述延時控制裝置用于基于預設頻率通過所述電磁控制開關裝置控制所述機械臂運動的速度和頻率。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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