東京毅力科創株式會社新藤健弘獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利輸送基片的裝置、處理基片的系統和輸送基片的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114649246B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111499716.7，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權輸送基片的裝置、處理基片的系統和輸送基片的方法是由新藤健弘;高橋明;堀內孝;兒玉俊昭設計研發完成，并于2021-12-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本輸送基片的裝置、處理基片的系統和輸送基片的方法在說明書摘要公布了：本發明提供輸送基片的裝置、處理基片的系統和輸送基片的方法，能夠調節叉形部件的傾斜。基片輸送裝置包括：末端執行器，其具有保持基片的叉形部件和保持叉形部件的根端部的腕部；以及臂，其能夠安裝末端執行器并具有使叉形部件移動的機構，在基片輸送裝置的保持叉形部件的根端部的腕部與臂之間具有調節叉形部件的傾斜的傾斜調節機構，該傾斜調節機構包括：用于從下表面側支承腕部的3個支承銷；使這些支承銷的上端的高度位置彼此相對地變化的高度調節部；和被設置成將叉形部件向支承銷一側牽引的牽引銷。
本發明授權輸送基片的裝置、處理基片的系統和輸送基片的方法在權利要求書中公布了：1.一種輸送基片的裝置，其特征在于，包括： 末端執行器，其具有用于保持所述基片的叉形部件和用于保持該叉形部件的根端部的腕部； 臂，其能夠安裝所述末端執行器，具有用于使所述叉形部件移動的機構；以及 傾斜調節機構，其設置在所述叉形部件與所述腕部之間、或者所述腕部與所述臂之間，用于調節所述叉形部件的傾斜， 所述傾斜調節機構包括： 3根支承銷，該3根支承銷是為了從下表面側支承所述叉形部件或所述腕部而設置的，分別配置在俯視時形成三角形的頂點的位置； 高度調節部，其能夠使所述3根支承銷的上端的高度位置彼此相對地變化；和 牽引銷，其為了維持各所述支承銷的上端與所述叉形部件或所述腕部的下表面接觸的狀態而配置在所述三角形的內側，被設置成能夠將所述叉形部件向所述支承銷一側牽引， 所述傾斜調節機構構成為能夠一邊利用所述牽引銷將所述叉形部件向所述3根支承銷一側牽引，一邊使所述3根支承銷的上端的高度位置彼此相對地變化，由此在維持所述3根支承銷的上端與所述叉形部件或所述腕部的下表面接觸的狀態的同時，調節所述叉形部件的傾斜。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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