江蘇大學(xué)趙新宏獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉江蘇大學(xué)申請的專利一種金屬-半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)柔性紫外光電探測器及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114709334B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202210312521.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10K30/15;該發(fā)明授權(quán)一種金屬-半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)柔性紫外光電探測器及其制備方法是由趙新宏;陶宇;方永初設(shè)計研發(fā)完成,并于2022-03-28向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種金屬-半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)柔性紫外光電探測器及其制備方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種金屬?半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)柔性紫外光電探測器及其制備方法,包括柔性襯底,金屬電極層、Al層、ZnO層、Cs3Cu2I5層和PDMS聚二甲基硅氧烷層,柔性襯底為聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜,金屬電極層形成于柔性基底的表面,Al層形成于金屬電極層的表面,ZnO層形成于Al層的表面,Cs3Cu2I5層形成于ZnO層的表面,PDMS聚二甲基硅氧烷層形成于Cs3Cu2I5層的表面,本發(fā)明使用PET柔性襯底,使得所制備的光電探測器具備優(yōu)秀的機械柔性,滿足了可穿戴電子設(shè)備的要求;本發(fā)明采用簡單低溫溶液法合成材料,滿足簡單易制備,低成本生產(chǎn)光電子設(shè)備的要求,有利于大規(guī)模的商業(yè)應(yīng)用。
本發(fā)明授權(quán)一種金屬-半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)柔性紫外光電探測器及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種金屬-半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)柔性紫外光電探測器的制備方法,其特征在于,包括以下步驟: S1:將PET柔性襯底剪裁為1cm×1cm的正方形,用丙酮,酒精,體積比例1:2,清洗,并在氮氣環(huán)境下20℃-25℃干燥20-25min,隨后采用氣體流量為60-70sccm,等離子體功率為0.8-0.9Wcm2的氧等離子體處理,持續(xù)時間10-15min,得到PET柔性襯底; S2:采用真空蒸發(fā)鍍膜法在柔性襯底表面先蒸鍍厚度為50nm的Cr金屬電極,再蒸鍍厚度為50nm的Au金屬電極,真空蒸鍍條件為:真空度為5×10-3Pa,蒸鍍速率為0.1-1As; S3:將柔性襯底真空吸附在勻膠機轉(zhuǎn)盤中心,勻膠機轉(zhuǎn)速設(shè)定為500-800rmin,使用移液槍吸取1mLAl·NCs溶液0.1mgmL,勻膠機運行30s后再進行旋涂,旋涂時間30-35s,溶劑在氮氣環(huán)境下20℃-25℃吹干,重復(fù)上述旋涂操作1-2次,得到分布于整個柔性襯底的透明薄膜,得到在柔性襯底表面的A1層; S4:將柔性襯底真空吸附在勻膠機轉(zhuǎn)盤中心,勻膠機轉(zhuǎn)速設(shè)定為1000-1200rmin,使用5mL容量的一次性滴管吸取2mLZn0·QDs溶液2mgmL,勻膠機運行30s后再進行旋涂,旋涂時間25-30s,將旋涂有Zn0QDs的器件置于氮氣環(huán)境中80-90℃退火20-25min,重復(fù)上述旋涂操作5-6次,得到分布于AlNCs涂層上的白色薄膜,得到在Al層表面的Zn0層; S5:將柔性襯底真空吸附在勻膠機轉(zhuǎn)盤中心,勻膠機轉(zhuǎn)速設(shè)定為800-1000rmin,使用移液槍吸取1mLCs3Cs3Cu2I5·QDs溶液8mgmL,勻膠機運行30s后再進行旋涂,旋涂時間25-35s,將旋涂有Cs3Cu2I5·QDs的器件置于氮氣環(huán)境中80-90℃退火10-15min,重復(fù)上述旋涂操作4-5次,得到分布于Zn0·QDs涂層上的帶黃色薄膜,得到在ZnO層表面的Cs3Cu2I5層; S6:將柔性襯底真空吸附在勻膠機轉(zhuǎn)盤中心,勻膠機轉(zhuǎn)速設(shè)定為1000-1200rmin,使用移液槍吸取1mLPDMS混合溶液,勻膠機運行30s后再進行旋涂,旋涂時間30-35s,將器件加熱至80-85℃持續(xù)2-2.5h,得到在Cs3Cu2I5層表面的PDMS層,制備成金屬-半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)柔性紫外光電探測器。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人江蘇大學(xué),其通訊地址為:212013 江蘇省鎮(zhèn)江市京口區(qū)學(xué)府路301號江蘇大學(xué);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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