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龍圖騰網獲悉上海市計量測試技術研究院;同濟大學申請的專利電子探針顯微分析儀器的參數誤差校準方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115877037B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211365264.8，技術領域涉及：G01Q40/00；該發明授權電子探針顯微分析儀器的參數誤差校準方法是由雷李華;曹程明;熊英凡;謝張寧;鄧曉;程鑫彬;管鈺晴;鄒文哲;傅云霞設計研發完成，并于2022-11-03向國家知識產權局提交的專利申請。

本電子探針顯微分析儀器的參數誤差校準方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種電子探針顯微分析儀器的參數誤差校準方法，基于原子光刻技術制備一維光柵標準樣板，計算該一維光柵標準樣板的光柵理論周期值D；將一維光柵標準樣板靜置于電子探針顯微分析儀器的載物臺設定時間，使測試狀態保持穩定；待電子探針顯微分析儀器聚焦清晰后，電子探針顯微分析儀器掃描載物臺上的一維光柵標準樣板，對一維光柵標準樣板的柵格間距進行圖像采集和測量，得到光柵掃描距離測量值L,并記下此時的放大倍率，根據D和L計算獲得該放大倍率下的校準因子K。本發明的電子探針顯微分析儀器的參數誤差校準方法，縮短了對儀器進行校準的溯源鏈長度，降低了量值傳遞過程的誤差積累，提升了不同儀器之間的校準一致性，操作方便。

本發明授權電子探針顯微分析儀器的參數誤差校準方法在權利要求書中公布了：1.一種電子探針顯微分析儀器的參數誤差校準方法，其特征在于，其包括以下步驟： S1.基于原子光刻技術制備一維光柵標準樣板，計算該一維光柵標準樣板的光柵理論周期值D； S2.將所述一維光柵標準樣板靜置于電子探針顯微分析儀器的載物臺設定時間，使測試狀態保持穩定； S3.待電子探針顯微分析儀器聚焦清晰后，電子探針顯微分析儀器掃描載物臺上的所述一維光柵標準樣板，對一維光柵標準樣板的柵格間距進行圖像采集和測量，得到光柵掃描距離測量值L,并記下此時的放大倍率； S4.計算獲得電子探針顯微分析儀器在該放大倍率下的校準因子K： 式中：θ為光柵線條方向與電子探針顯微分析儀器掃描方向所成的夾角；N是光柵掃描距離測量值L對應的一維光柵標準樣板的光柵周期數，N為正整數； S5.利用所述校準因子K，在所述放大倍率下的對電子探針顯微分析儀器進行參數校準；電子探針顯微分析儀器的進行校準的參數包括長度測量示值誤差E1、樣品臺重復誤差E2中的至少一種； E1＝|KL-L|N； 式中，為中心距離差值平均值。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海市計量測試技術研究院;同濟大學，其通訊地址為：200040 上海市靜安區上海市長樂路1226號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。