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龍圖騰網獲悉湖南普照信息材料有限公司申請的專利一種掩膜版玻璃基底的清洗方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116274069B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211415770.3，技術領域涉及：B08B3/02；該發明授權一種掩膜版玻璃基底的清洗方法是由吳云峰;李翼;李偉;周志剛設計研發完成，并于2022-11-11向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種掩膜版玻璃基底的清洗方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種掩膜版玻璃基底的清洗方法，包括對玻璃基底表面進行SPM清洗；對玻璃基底持續進行熱純水沖洗；對玻璃基底進行冷純水沖洗；對玻璃基底進行毛刷洗劑刷洗，毛刷以順時針旋轉方式和逆時針旋轉方式交替旋轉；對玻璃基底再次進行冷純水沖洗；對玻璃基底進行甩干，包括采用階梯轉速對玻璃基底進行甩干，再將玻璃基底的旋轉方向逆轉，提高玻璃基底的轉速，直至玻璃基底上的水膜被甩干。本發明提供的掩膜版玻璃基底的清洗方法，利用熱純水沖洗，能夠更有效去除SPM溶劑的殘留，并采用階梯轉速甩干的方式去除玻璃基底上的水膜，提高了玻璃基底的清洗質量，增加玻璃基底與鉻膜層的粘附力。

本發明授權一種掩膜版玻璃基底的清洗方法在權利要求書中公布了：1.一種掩膜版玻璃基底的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括： 通過SPM清洗去除玻璃基底表面的金屬離子； 以多種轉速旋轉玻璃基底并進行持續的熱純水沖洗，所述以多種轉速旋轉玻璃基底具體為：以第一加速度提高玻璃基底的轉速達到第一熱沖洗轉速，保持沖水50-100s，隨后將轉速降至零，再以第二加速度提高玻璃基底的轉速達到第二熱沖洗轉速，保持沖水200-300s，所述第一加速度大于第二加速度，所述第一熱沖洗轉速大于第二熱沖洗轉速，所述玻璃基底進行持續的熱純水沖洗具體為：沖洗玻璃基底的正面和背面，沖洗背面的流量大于沖洗正面的流量，沖洗正面的流量大于2.0Lmin； 旋轉玻璃基底并進行持續的冷純水沖洗，以去除熱純水和SPM溶劑殘留； 旋轉玻璃基底并通過毛刷和清洗劑進行刷洗，所述旋轉玻璃基底并通過毛刷和清洗劑進行刷洗具體為：所述玻璃基底以刷洗轉速進行旋轉，所述毛刷以順時針旋轉方式和逆時針旋轉方式交替旋轉，所述刷洗轉速為100-150rpm，所述毛刷以順時針旋轉方式和逆時針旋轉方式交替旋轉具體為：毛刷對玻璃基底進行逆時針旋轉清洗，逆時針旋轉清洗時間為150-200s，隨后對玻璃基底進行順時針清洗，順時針旋轉清洗時間為100-200s，所述逆時針旋轉清洗時間大于所述順時針旋轉清洗時間，所述毛刷逆時針旋轉的轉速大于毛刷順時針旋轉的轉速； 旋轉玻璃基底再次進行冷純水沖洗，以去除清洗劑殘留； 通過階梯轉速旋轉玻璃基底進行甩干，所述通過階梯轉速旋轉玻璃基底進行甩干，具體為：提高玻璃基底的轉速到第一甩干轉速，并保持旋轉100-200s，再繼續提高玻璃基底的轉速到第二甩干轉速，并保持旋轉200-300s，隨后將玻璃基底的旋轉方向逆轉，再提高玻璃基底的轉速到第三甩干轉速，并保持旋轉100-150s，其中，所述第三甩干轉速大于所述第二甩干轉速。

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