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龍圖騰網獲悉華南農業大學申請的專利一種內共振耦合的電磁感應式微機械磁傳感器及制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116243220B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310202922.X，技術領域涉及：G01R33/06；該發明授權一種內共振耦合的電磁感應式微機械磁傳感器及制備方法是由梁亨茂;于俊偉;張俊明;胡振業設計研發完成，并于2023-03-03向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種內共振耦合的電磁感應式微機械磁傳感器及制備方法在說明書摘要公布了：本發明公開一種內共振耦合的電磁感應式微機械磁傳感器及制備方法，該電磁感應式微機械磁傳感器包括第一諧振結構、第二諧振結構以及兩諧振結構間的耦合梁；本發明通過耦合梁將諧振頻率為整數比的兩個諧振結構連接形成一個內共振耦合諧振系統，該系統能夠在某一諧振結構達到諧振非線性后將過載的非線性能量通過內共振原理傳遞給另一諧振結構并使之諧振，從而通過兩個諧振結構的電磁感應式磁感信號輸出的疊合提高磁傳感器性能，突破傳統單一諧振結構型電磁感應式磁傳感器難以通過靜電驅動力的過載增加提高器件性能的局限性。

本發明授權一種內共振耦合的電磁感應式微機械磁傳感器及制備方法在權利要求書中公布了：1.一種內共振耦合的電磁感應式微機械磁傳感器，其特征在于，包括第一諧振結構組件、第二諧振結構組件以及耦合在第一諧振結構組件和第二諧振結構組件之間的耦合梁； 所述第一諧振結構組件包括驅動電極、第一諧振結構、第一硅本體絕緣層、第一感應線圈、第一線圈絕緣層以及第一線圈金屬層；所述第一硅本體絕緣層設置在第一諧振結構上；所述驅動電極位于第一諧振結構遠離第一硅本體絕緣層的一側；所述第一感應線圈設置在第一硅本體絕緣層上；所述第一線圈絕緣層設置在第一感應線圈上；所述第一線圈金屬層設置在第一線圈絕緣層上； 所述第二諧振結構組件包括第二諧振結構、第二硅本體絕緣層、第二感應線圈、第二線圈絕緣層以及第二線圈金屬層；所述第二硅本體絕緣層設置在第二諧振結構上；所述第二感應線圈設置在第二硅本體絕緣層上；所述第二線圈絕緣層設置在第二感應線圈上；所述第二線圈金屬層設置在第二線圈絕緣層上； 在工作狀態下，所述驅動電極以靜電驅動方式驅動所述第一諧振結構進入扭轉或平動諧振模態；當第一諧振結構處于扭轉或平動諧振模態時，在外磁場下第一感應線圈切割磁感線，產生一路正比于外部磁場大小的感應電動勢信號；在施加的驅動電壓使第一諧振結構接近非線性狀態的臨界點時，若繼續增加靜電驅動電壓以增加驅動力則第一諧振結構進入非線性的振幅飽和狀態； 基于內共振原理，通過耦合梁將過載驅動的第一諧振結構上的諧振非線性的能量傳遞給第二諧振結構，帶動第二諧振結構進行扭轉或平動諧振運動，第二感應線圈進行切割磁感線運動，產生新的一路感應電動勢信號；通過對兩路輸出電動勢信號分別進行信號處理以及分別轉換為直流信號，再將兩路直流信號進行加和，從而反映出磁場的強度； 所述第一諧振結構的固有頻率和第二諧振結構的固有頻率之比為整數倍； 所述第一諧振結構采用低頻結構，所述第二諧振結構采用高頻結構；或者所述第一諧振結構采用高頻結構，所述第二諧振結構采用低頻結構。

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