珠海晶通科技有限公司沈志春獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉珠海晶通科技有限公司申請的專利一種提高單wafer晶圓規劃多種不同block的制作方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116314181B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310257182.X,技術領域涉及:H10D89/10;該發明授權一種提高單wafer晶圓規劃多種不同block的制作方法是由沈志春;陳勇堅;夏玥;張清貴;劉心舸;吳欣延設計研發完成,并于2023-03-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種提高單wafer晶圓規劃多種不同block的制作方法在說明書摘要公布了:本發明公開的一種提高單wafer晶圓規劃多種不同block的制作方法,包括以下步驟:步驟S1,規劃多個block;步驟S2,設置多個不同的修正值;步驟S3,確定修正值的連線方式,在物理版圖實現的過程中,把布線層引到金屬布線頂層;步驟S4,樣片測試,分別對不同block進行測試,測試完成后挑選出最符合設計目標的block;步驟S5,整個晶圓只需在原來的數據基礎上,改動頂層金屬mask光罩就可以進行芯片大規模的量產,這樣制作方法不僅節省了大量的寶貴時間,有效提高單wafer晶圓成功率和縮短芯片設計周期、降低成本,而且也避免了產能緊張的問題。
本發明授權一種提高單wafer晶圓規劃多種不同block的制作方法在權利要求書中公布了:1.一種提高單wafer晶圓規劃多種不同block的制作方法,用于在單個wafer晶圓上規劃出多個不同block,其特征在于,該制作方法包括以下步驟: 步驟S1,規劃多個block 在單個wafer晶圓上規劃出多個不同block,所述不同的block大小形狀相同而僅僅只是最高n層金屬metal的連線不同,n為大于等于1的正整數,如果n為1即不同的block只有最高一層金屬metal的連線不同,n為2即不同的block有最高兩層金屬metal連線不同;依此類推,n為m即不同的block有最高m層金屬metal連線不同; 步驟S2,設置多個不同的修正值 當n=1時,不同的block只有最高層金屬metal連線不同,當n=2時,不同的block最高2層金屬metal連線不同,依此類推,n=m時,不同的block最高m層金屬metal連線不同; 然后,運用工藝金屬線光罩選擇方式得到不同block所對應相關參數不同的修正值; 具體為,根據電路的特點,設計出多個帶有可供修正的重要參數,每個參數是0或者是1,然后根據不同的參數,按照BCD碼方式進行編碼,得到不同block所對應相關參數不同的修正值; 步驟S3,確定修正值的連線方式 在物理版圖實現的過程中,把布線層引到金屬布線頂層,在參數編碼后,修正值對應為1的通過版圖物理連線連接到電源線VDD或者高電平鉗位單元,修正值對應為0的通過物理版圖連線、連接到頂層地線VSS或者低電平鉗位單元,形成一個按照工藝金屬線光罩選擇方式的設計; 步驟S4,樣片測試 芯片生產完成后,進行樣片測試,分別對不同block進行測試,測試完成后挑選出最符合設計目標的block,在不額外增加流片的情況下,在原來的數據里面直接改動最高層金屬mask光罩,即把其他block的修正值改成和最符合設計目標的block的修正值一樣; 實現在版圖數據上,修正值1改成0的,即把原來最高層金屬連接到電源線VDD或者高電平鉗位單元改成連接到地線VSS或者低電平鉗位單元上;修正值0改成1的,即把原來最高層金屬連接到地線VSS或者低電平鉗位單元改成連接到電源線VDD或者高電平鉗位單元上; 步驟S5,整個晶圓只需在原來的數據基礎上,改動最高金屬層mask光罩就可以進行芯片大規模的量產。
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