中國科學院上海技術物理研究所邵軍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院上海技術物理研究所申請的專利基于泵浦探測拉曼光譜的半導體導熱系數測試方法和裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116297399B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310284067.1,技術領域涉及:G01N21/65;該發明授權基于泵浦探測拉曼光譜的半導體導熱系數測試方法和裝置是由邵軍;陳熙仁;劉浩然設計研發完成,并于2023-03-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于泵浦探測拉曼光譜的半導體導熱系數測試方法和裝置在說明書摘要公布了:本發明公開基于泵浦探測拉曼光譜的半導體導熱系數測試方法和裝置。該裝置包括泵浦源激發和探測子系統、泵浦激光光斑調節子系統、樣品與參考平面的溫度控制子系統、拉曼激發與收集子系統、光譜測量子系統、光學元件切換控制部件以及計算機中控。該方法使用上述裝置進行激發光反射率和泵浦?探測拉曼光譜測量,能夠準確獲取泵浦加熱導致的半導體溫度變化,從而測量出導熱系數。本發明具有便捷、無損、非接觸等優點,非常適用于微小尺寸光電材料熱學性質檢測。
本發明授權基于泵浦探測拉曼光譜的半導體導熱系數測試方法和裝置在權利要求書中公布了:1.一種基于泵浦探測拉曼光譜的半導體導熱系數測試裝置,包括泵浦源激發和探測子系統1、泵浦激光光斑調節子系統2、樣品與參考平面的溫度控制子系統3、拉曼激發與收集子系統4、光譜測量子系統5、光學元件切換控制部件6以及計算機中控7;其特征在于: 所述泵浦源激發和探測子系統1包括出射光子能量大于待測樣品禁帶寬度的第一連續激光器101、放置在第一連續激光器101激光器前透過波段對應激光波長的窄帶通濾光片102、依次經過激光相應波長的光學擴束器103、直角平面反射鏡104、激光相應波長的光學衰減片105和覆蓋激光波長范圍第一光電探測器106; 所述泵浦激光光斑調節子系統2包括具有電動移動功能的激光反射鏡201、由激光反射鏡組成的引導光路202和可調焦距的激光聚焦透鏡組203; 所述樣品與參考平面的溫度控制子系統3包括光學恒溫器301、放置在光學恒溫器301中表面平整光滑的待測樣品302、與待測樣品等厚的參考平面鏡303、具有電動可移動功能的高熱導金屬樣品托304、置于樣品托上的溫度傳感器305以及與傳感器相聯的溫度顯示器306; 所述拉曼激發與收集子系統4包括產生光子能量小于第一連續激光器101出射光子能量的第二連續激光器401、激光對應波長的聚焦透鏡402、具有沿聚焦方向小孔的拋物面反射鏡403、拋物面反射鏡404以及由若干平面反射鏡組成的散射光引導光路405; 所述光譜測量子系統5包括具有電動移動功能的大面積平面反射鏡501、覆蓋拉曼散射信號波段的光譜儀502、截止波長位于第一連續激光器101出射波長和反斯托克斯散射光波長之間的長波通濾光片503、對應第二連續激光器401出射波長的窄帶陷波濾光片504以及覆蓋拉曼散射信號波段的第二光電探測器505; 所述泵浦源激發和探測子系統1與泵浦激光光斑調節子系統2、樣品與參考平面的溫度控制子系統3、拉曼激發與收集子系統4以及光譜測量子系統5光學相聯; 所述光學元件切換控制部件6與可電動移動激光反射鏡201、金屬樣品托304和大面積平面反射鏡501電學相聯; 所述計算機中控7與第一光電探測器106、第二光電探測器505和光譜儀502相聯,讀取探測器和光譜儀信號。
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