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龍圖騰網獲悉業成科技(成都)有限公司;業成光電(深圳)有限公司;業成光電(無錫)有限公司;英特盛科技股份有限公司申請的專利邁克爾遜干涉儀的量測方法及邁克爾遜干涉儀獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116625229B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310380265.8，技術領域涉及：G01B9/02015；該發明授權邁克爾遜干涉儀的量測方法及邁克爾遜干涉儀是由葉肇懿;吳朵朵設計研發完成，并于2023-04-11向國家知識產權局提交的專利申請。

本邁克爾遜干涉儀的量測方法及邁克爾遜干涉儀在說明書摘要公布了：本申請涉及一種邁克爾遜干涉儀的量測方法及邁克爾遜干涉儀。量測方法包括：根據第一鏡片層的光學特性與第二鏡片層的光學特性，發出第一偏振光；對第一參考偏振光和或第一測試偏振光進行偏振調制，以使第一參考偏振光與第一測試偏振光具有相同的偏振狀態；根據第一鏡片層的光學特性和第二鏡片層的光學特性，發出第二偏振光；對第二參考偏振光和或第二測試偏振光進行偏振調制，以使第二參考偏振光與第二測試偏振光具有相同的偏振狀態。本申請通過設置偏振調制組件對參考偏振光和對應的測試偏振光分別進行偏振調制，從而使得每一參考偏振光與對應的測試偏振光都具有相同的偏振狀態，從而對疊層結構中的各層結構分別進行形貌的量測。

本發明授權邁克爾遜干涉儀的量測方法及邁克爾遜干涉儀在權利要求書中公布了：1.一種邁克爾遜干涉儀的量測方法，其特征在于，所述邁克爾遜干涉儀包括光源、反射鏡、接收傳感器及非偏振分光鏡；所述光源、所述非偏振分光鏡及疊層結構沿z向依次間隔設置，所述反射鏡、所述非偏振分光鏡及所述接收傳感器沿y向依次間隔設置，且所述z向與所述y向相互垂直；所述疊層結構包括沿所述z向依次層疊設置的第一鏡片層和第二鏡片層； 所述量測方法包括： 根據所述第一鏡片層的光學特性與所述第二鏡片層的光學特性，發出第一偏振光； 將所述第一偏振光分束為傳輸至所述反射鏡的第一參考偏振光和傳輸至所述第一鏡片層的第一測試偏振光； 對所述第一參考偏振光和或所述第一測試偏振光進行偏振調制，以使由所述反射鏡反射至所述接收傳感器的所述第一參考偏振光，與經由所述第一鏡片層反射并傳輸至所述接收傳感器的第一測試偏振光具有相同的偏振狀態； 根據所述第一鏡片層的光學特性和所述第二鏡片層的光學特性，發出第二偏振光； 將所述第二偏振光分束為傳輸至所述反射鏡的第二參考偏振光和傳輸至所述疊層結構的第二鏡片層的第二測試偏振光； 對所述第二參考偏振光和或所述第二測試偏振光進行偏振調制，以使由所述反射鏡反射至所述接收傳感器的所述第二參考偏振光，與經由所述第二鏡片層反射并傳輸至所述接收傳感器的第二測試偏振光具有相同的偏振狀態。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人業成科技(成都)有限公司;業成光電(深圳)有限公司;業成光電(無錫)有限公司;英特盛科技股份有限公司，其通訊地址為：611731 四川省成都市高新區西區合作路689號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。