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龍圖騰網獲悉武漢楚興技術有限公司申請的專利壓力傳感器及其制備方法、半導體加工設備及其監測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119492462B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202311050488.4，技術領域涉及：G01L1/14；該發明授權壓力傳感器及其制備方法、半導體加工設備及其監測方法是由李鵬飛設計研發完成，并于2023-08-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本壓力傳感器及其制備方法、半導體加工設備及其監測方法在說明書摘要公布了：本公開提供了一種壓力傳感器及其制備方法、半導體加工設備及其監測方法，涉及半導體加工設備技術領域，旨在解決半導體加工設備制備得到的半導體器件存在制作良率低的問題。壓力傳感器包括電容、第一絕緣層和第一電感線圈。電容包括相對設置的第一極板和第二極板。第一極板和第二極板之間存在壓力諧振腔。第一絕緣層至少部分位于第二極板遠離第一極板的一側。第一電感線圈位于第一絕緣層遠離第二極板的一側。第一電感線圈和電容串聯，共同形成壓力感測回路。壓力感測回路中諧振信號的參數用于表征第一極板遠離第二極板的一側表面受到的壓力值。上述壓力傳感器應用于半導體加工設備中，以提高半導體器件的制作良率。

本發明授權壓力傳感器及其制備方法、半導體加工設備及其監測方法在權利要求書中公布了：1.一種半導體加工設備，其特征在于，包括： 殼體，包括殼壁和底座；所述殼壁和底座共同圍成置物腔； 進氣管，至少部分伸入所述置物腔內； 轉軸，位于所述置物腔內； 壓力傳感器，位于所述置物腔內，且位于所述進氣管和所述底座之間；所述壓力傳感器在所述底座上的正投影，至少部分覆蓋位于所述置物腔內的所述進氣管在所述底座上的正投影；所述壓力傳感器包圍所述轉軸的周側； 其中，所述壓力傳感器包括： 電容，所述電容包括相對設置的第一極板和第二極板；所述第一極板和所述第二極板之間存在壓力諧振腔； 第一絕緣層，至少部分位于所述第二極板遠離所述第一極板的一側； 第一電感線圈，位于所述第一絕緣層遠離所述第二極板的一側；所述第一電感線圈的第一端與所述第一極板耦接，所述第一電感線圈的第二端與所述第二極板耦接，所述第一電感線圈和所述電容共同形成壓力感測回路。

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