傳周半導體科技(上海)有限公司李孟龍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉傳周半導體科技(上海)有限公司申請的專利一種高魯棒性光柵尺絕對碼道系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN118293798B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202410433650.9,技術領域涉及:G01B11/02;該發明授權一種高魯棒性光柵尺絕對碼道系統是由李孟龍;段兆晨;林凱設計研發完成,并于2024-04-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種高魯棒性光柵尺絕對碼道系統在說明書摘要公布了:本發明提供的是一種高魯棒性光柵尺絕對碼道系統,高精度光柵尺讀頭系統由光源、標尺光柵、指示光柵、增量光電二極管(Photo?Diode,PD)、絕對PD、增量PD檢測電路、絕對PD檢測電路、計算處理單元組成。其中增量PD和增量PD檢測電路共同組成增量檢測碼道,輸出測量系統的增量位置信息到計算處理單元;絕對PD和絕對PD檢測電路共同組成絕對檢測碼道,輸出測量系統的絕對位置信息到計算處理單元,計算處理單元根據增量位置信息和絕對位置信息對系統進行糾錯修正并輸出高精度的絕對位置信息。本發明可用于高精度微小位移的測量,可廣泛用于精密半導體制造、精密位移測量、精密運動控制、數控機床的閉環反饋控制等領域。
本發明授權一種高魯棒性光柵尺絕對碼道系統在權利要求書中公布了:1.一種高魯棒性光柵尺絕對碼道系統,其特征在于,由光源、標尺光柵、指示光柵、增量光電二極管、絕對PD、增量PD檢測電路、絕對PD檢測電路、計算處理單元組成,光源的光分別經過標尺光柵和指示光柵在增量PD和絕對PD表面形成特定光斑,增量PD和增量PD檢測電路組成增量檢測碼道,增量PD將照到其表面的反映當前位置信息的光斑轉為電流信號,經增量PD檢測電路后轉為模擬電壓信號,包含系統增量位置信息,絕對PD和絕對PD檢測電路組成絕對檢測碼道,絕對PD將照到其表面的反映當前位置信息的光斑轉為電流信號,經絕對PD檢測電路后轉為數字信號,包含系統絕對位置信息,計算處理單元根據增量位置信息和絕對位置信息判斷當前位置信息狀態,對增量PD檢測電路和絕對PD檢測電路發出修正指令,根據現有增量位置信息和絕對位置信息計算當前精確絕對位置; 判斷邏輯中增量碼道分為信號M1和M2,M1在相位0°處輸出一個周期高電平,M2在相位90°處輸出一個周期高電平,若出現光臟污問題或環境引入干擾,導致高電平時間大于1個增量碼道周期情況下需要M1和M2進行互糾錯; 糾錯為分別判斷M1,M2輸出上升沿和下降沿對應增量碼道相位情況,若對應相位為0°、180°則此時M1,M2判斷正確,若未對準則對非對準情況判斷,選角度偏差最小情況為當前計算依據,根據偏差情況修改VIH和VIL; 絕對PD檢測電路包含的遲滯比較器中參考電壓Vref需隨光斑亮度變化,為PD輸出電壓最大值的一半,其輸出數字信號Vout的邏輯為: Vin為絕對PD檢測電路包含的TIA輸出及遲滯比較器輸入,VIH為設置高電平遲滯電壓,VIL為設置低電平遲滯電壓,VIH和VIL受計算處理單元控制,若上升沿下降沿均未對齊則計算出最小相位誤差Δω,計算處理單元根據計算出該值對相位對齊情況校正并更改VIH和VIL,若Δω大于0說明絕對碼道超前增量碼道,需加大絕對碼道判決延時,若Δω小于0說明增量碼道超前絕對碼道,需減小絕對碼道判決延時,同時調整VIH和VIL,其值為: 此調整為逐次逼近,系數k表示逼近程度。
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