江西萬年芯微電子有限公司艾育林獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江西萬年芯微電子有限公司申請的專利一種基于高純氣體吹掃的半導體部件除污裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN118577569B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202410681095.1,技術領域涉及:B08B5/02;該發明授權一種基于高純氣體吹掃的半導體部件除污裝置是由艾育林;吳昊如;王雨靜;陸寅鵬;朱錦輝設計研發完成,并于2024-05-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種基于高純氣體吹掃的半導體部件除污裝置在說明書摘要公布了:本發明公開了一種基于高純氣體吹掃的半導體部件除污裝置,涉及半導體部件除污裝置技術領域,該基于高純氣體吹掃的半導體部件除污裝置,包括固定架,固定架的一側表面轉動連接有轉軸,轉軸以固定架的豎直中心線為參照呈對稱設置,轉軸的外表面傳動連接有輸送帶,輸送帶靠近固定架的一側表面均勻固定連接有凸塊,該裝置在使用時,使氣體均勻的覆蓋至半導體部件的表面,確保半導體部件的各個角落都能被氣體吹掃到,從而減少清潔死角,同時,避免半導體表面某些區域因距離吹掃孔較近,導致在除污時,受到較大的沖擊力,造成的半導體表面損傷,使半導體部件每次在相同的地方進行表面除污,保持除污過程的一致性和可追溯性。
本發明授權一種基于高純氣體吹掃的半導體部件除污裝置在權利要求書中公布了:1.一種基于高純氣體吹掃的半導體部件除污裝置,包括固定架(1),所述固定架(1)的一側表面轉動連接有轉軸(2),所述轉軸(2)以固定架(1)的豎直中心線為參照呈對稱設置,所述轉軸(2)的外表面傳動連接有輸送帶(3),其特征在于,所述輸送帶(3)靠近固定架(1)的一側表面均勻固定連接有凸塊(4),所述固定架(1)遠離轉軸(2)一側的表面固定連接有電機(5),所述電機(5)的輸出軸端貫穿固定架(1)且延伸至固定架(1)靠近轉軸(2)的一側,所述電機(5)輸出軸延伸至轉軸(2)的一端固定連接有連桿一(6),所述連桿一(6)遠離電機(5)的一端轉動連接有連桿二(7),所述固定架(1)靠近轉軸(2)的一側表面開設有滑槽一(8),所述滑槽一(8)內部滑動連接有滑塊(9),所述滑塊(9)與連桿二(7)遠離連桿一(6)的一端轉動連接,所述滑塊(9)靠近輸送帶(3)的一側表面轉動連接有推桿(10),所述滑塊(9)靠近輸送帶(3)的一側表面固定連接有擋柱(11); 所述固定架(1)靠近電機(5)一側的表面固定連接有氣泵(20),所述固定架(1)靠近輸送帶(3)的一側表面固定連接有連接管(21),所述連接管(21)貫穿固定架(1)延伸至固定架(1)靠近氣泵(20)的一側,且連接管(21)貫穿固定架(1)的一端與氣泵(20)連通,所述固定架(1)靠近輸送帶(3)的一側表面固定連接有固定箱(22),所述固定箱(22)兩側板的下表面均設置為斜面,所述連接管(21)的下表面均勻連通有軟管(23),所述軟管(23)遠離連接管(21)的一端均貫穿固定箱(22)延伸至固定箱(22)內部,所述固定箱(22)的內部滑動連接有吹掃管(24),所述軟管(23)延伸至固定箱(22)內部的一端均與吹掃管(24)連通,所述吹掃管(24)的下表面均勻開設有吹掃孔(25); 所述吹掃孔(25)為傾斜開設,且吹掃孔(25)距離軟管(23)越近,其孔徑尺寸逐步遞減。
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