北京七星華創集成電路裝備有限公司郭亮獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京七星華創集成電路裝備有限公司申請的專利基板支撐結構獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223333769U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202421824676.8,技術領域涉及:H01L21/687;該實用新型基板支撐結構是由郭亮;潘忠懷;田永安設計研發完成,并于2024-07-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板支撐結構在說明書摘要公布了:本實用新型提供一種基板支撐結構,包括多個支撐桿件和多個調節組件,多個支撐桿件間隔設置,用于共同支撐基板,每個支撐桿件的端部均設置有調節組件,調節組件用于調節對應設置的支撐桿件的撓度。本實用新型提供的基板支撐結構,能夠使基板支撐結構在后期維護過程中的調整操作簡單方便,提高基板支撐結構后期維護的調整效率。
本實用新型基板支撐結構在權利要求書中公布了:1.一種基板支撐結構,其特征在于,包括多個支撐桿件和多個調節組件,多個所述支撐桿件間隔設置,用于共同支撐基板,每個所述支撐桿件的端部均設置有所述調節組件,所述調節組件用于調節對應設置的所述支撐桿件的撓度; 所述調節組件包括調節部件和施力部件,所述調節部件與所述支撐桿件連接,且所述調節部件的一端可轉動的固定,所述施力部件與所述調節部件配合設置,用于向所述調節部件施加下壓力或上抬力,使所述調節部件向下或向上轉動,以帶動所述支撐桿件向下或向上撓曲變形; 所述支撐結構還包括支撐梁,所述調節部件的部分與所述支撐桿件的端部連接。
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