拉普拉斯(廣州)半導體科技有限公司龍占勇獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉拉普拉斯(廣州)半導體科技有限公司申請的專利氣體混合分配機構、進氣裝置及沉積制備設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223329427U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422753478.3，技術領域涉及：C30B25/14；該實用新型氣體混合分配機構、進氣裝置及沉積制備設備是由龍占勇;韓雪嶺;李洪;劉定財;梁展程;劉群設計研發完成，并于2024-11-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本氣體混合分配機構、進氣裝置及沉積制備設備在說明書摘要公布了：本實用新型屬于碳化硅外延生長設備技術領域，公開了氣體混合分配機構、進氣裝置及沉積制備設備，氣體混合分配機構包括混合腔體、勻氣板以及隔板，混合腔體設置有內腔，混合腔體沿第一方向的兩端設置有連通內外的進氣口和出氣口；多個勻氣板沿第一方向將內腔分為依次設置的預混腔與至少兩個混合腔，勻氣板上設置有連通勻氣板兩側的勻氣孔，每個混合腔內沿第二方向均設置有多個隔板，隔板將每個混合腔均分隔成若干第一小腔，沿第一方向相鄰的兩個混合腔的第一小腔錯位設置，并通過勻氣孔連通；位于最下游的第一小腔均對應有出氣口，進氣裝置包括上述氣體混合分配機構，沉積制備設備采用上述進氣裝置，以使氣體能夠充分混合。
本實用新型氣體混合分配機構、進氣裝置及沉積制備設備在權利要求書中公布了：1.氣體混合分配機構，其特征在于，包括： 混合腔體1，所述混合腔體1設置有內腔，所述混合腔體1沿第一方向的兩端設置有連通內外的進氣口11和出氣口； 勻氣板2，多個所述勻氣板2沿所述第一方向將所述內腔分為依次設置的預混腔與至少兩個混合腔，所述勻氣板2上設置有連通所述勻氣板2兩側的勻氣孔21； 隔板3，每個所述混合腔內沿第二方向均設置有多個所述隔板3，所述隔板3將每個所述混合腔均分隔成若干第一小腔4，沿所述第一方向相鄰的兩個所述混合腔的所述第一小腔4錯位設置，并通過所述勻氣孔21連通；位于最下游的所述第一小腔4均對應有所述出氣口； 所述第一方向與所述第二方向夾角設置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人拉普拉斯(廣州)半導體科技有限公司，其通訊地址為：510535 廣東省廣州市黃埔區瑞泰路2號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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