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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海稷以科技有限公司申請(qǐng)的專利晶圓用凸片檢測系統(tǒng)及檢測方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119601485B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411730543.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權(quán)晶圓用凸片檢測系統(tǒng)及檢測方法是由楊平設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-28向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本晶圓用凸片檢測系統(tǒng)及檢測方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提出了一種晶圓用凸片檢測系統(tǒng)及檢測方法，該系統(tǒng)包括：一號(hào)載臺(tái)和二號(hào)載臺(tái)，沿Z向依次分布且通過一號(hào)連接件連接；二號(hào)載臺(tái)通過二號(hào)連接件與直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接；其中，連接件與二號(hào)載臺(tái)、直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)均可拆卸連接；直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定于腔體內(nèi)壁，并可帶動(dòng)二號(hào)載臺(tái)沿著X向移動(dòng)；二號(hào)載臺(tái)上開設(shè)透射孔、若干個(gè)沿Y向分布的調(diào)節(jié)孔；二號(hào)載臺(tái)置于晶圓架的上方，并置于晶圓架的敞開端；晶圓架包括沿Z向依次分布的若干層支架；最后一層支架上設(shè)置接收傳感器，接收傳感器的接收端與發(fā)射傳感器正對(duì)設(shè)置；每層支架上均承接一片晶圓；發(fā)射傳感器，設(shè)置于一號(hào)載臺(tái)，且其發(fā)射端朝向透射孔設(shè)置。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的凸片檢測，且可對(duì)不同尺寸的晶圓進(jìn)行檢測。

本發(fā)明授權(quán)晶圓用凸片檢測系統(tǒng)及檢測方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓用凸片檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括： 一號(hào)載臺(tái)（1）和二號(hào)載臺(tái)（2），沿Z向依次分布且通過一號(hào)連接件連接；所述二號(hào)載臺(tái)（2）通過二號(hào)連接件（3）與直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)（5）連接； 其中，所述二號(hào)連接件（3）與二號(hào)載臺(tái)（2）、直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)（5）均可拆卸連接；所述直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)（5）固定于腔體內(nèi)壁，并可帶動(dòng)二號(hào)載臺(tái)沿著X向移動(dòng)； 所述二號(hào)載臺(tái)（2）上開設(shè)透射孔（21）、若干個(gè)沿Y向分布的調(diào)節(jié)孔；所述二號(hào)載臺(tái)（2）置于晶圓架（7）的上方，并置于晶圓架（7）的敞開端；所述晶圓架（7）包括沿Z向依次分布的若干層支架；最后一層支架上設(shè)置接收傳感器（8），所述接收傳感器（8）的接收端與發(fā)射傳感器正對(duì)設(shè)置；每層支架上均開設(shè)一個(gè)定位槽，每個(gè)定位槽內(nèi)均承接一片晶圓； 所述發(fā)射傳感器，設(shè)置于一號(hào)載臺(tái)（1），且其發(fā)射端朝向透射孔（21）設(shè)置； 還包括當(dāng)腔體內(nèi)承接另一尺寸晶圓的晶圓架需要檢測時(shí)： 調(diào)節(jié)直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)（5），以沿著X向移動(dòng)二號(hào)載臺(tái)（2），以使得發(fā)射傳感器移動(dòng)至待檢測晶圓架的敞開端； 改變二號(hào)連接件（3）在二號(hào)載臺(tái)（2）上的安裝位置，以沿Y向移動(dòng)二號(hào)載臺(tái)（2），以使得發(fā)射傳感器位于待檢測晶圓架的外部，并使得發(fā)射傳感器與待檢測晶圓架上的接收傳感器正對(duì)。

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