蘇州翊湃思電子科技有限公司周海龍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州翊湃思電子科技有限公司申請的專利一種基于數據模型反饋的微通孔質量檢測方法及系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120235832B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510301574.0,技術領域涉及:G06T7/00;該發明授權一種基于數據模型反饋的微通孔質量檢測方法及系統是由周海龍設計研發完成,并于2025-03-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種基于數據模型反饋的微通孔質量檢測方法及系統在說明書摘要公布了:本發明公開了一種基于數據模型反饋的微通孔質量檢測方法及系統,涉及半導體檢測技術領域,包括獲取微通孔圖像數據,對微通孔圖像數據進行灰度處理,并對處理后的灰度圖像進行二值化轉換,獲取微通孔二值圖像數據,根據微通孔二值圖像數據,獲取微通孔二維二值圖像數據。本發明通過微通孔最短直徑,對微通孔進行粗略檢測,提高了監測效率,避免了資源的浪費,通過最小缺陷尺寸信息和微通孔最短直徑,獲取點云間距信息,實現了對點云模型構建的動態調整,提高了模型的準確性,通過微通孔輪廓曲線函數對微通孔進行進一步分析,而不是直接將微通孔孔徑與生產標準進行對比,避免了對微通孔的誤判,提高了微通孔質量檢測效率。
本發明授權一種基于數據模型反饋的微通孔質量檢測方法及系統在權利要求書中公布了:1.一種基于數據模型反饋的微通孔質量檢測方法,其特征在于,包括: 獲取微通孔圖像數據,所述微通孔圖像數據包括微通孔二維圖像數據和微通孔三維圖像數據; 對微通孔圖像數據進行灰度處理,并對處理后的灰度圖像進行二值化轉換,獲取微通孔二值圖像數據; 根據微通孔二值圖像數據,獲取微通孔二維二值圖像數據,所述微通孔二維二值圖像數據表示微通孔的平面數據,包括微通孔位置信息和開口形狀信息; 根據微通孔二維二值圖像數據,基于點云模型構建,獲取微通孔二維模型; 根據微通孔二維模型,判斷微通孔孔徑是否符合生產標準,若否,則該微通孔不合格,若是,則根據微通孔二值圖像數據,獲取微通孔三維二值圖像數據,所述微通孔三維二值圖像數據包括微通孔側壁圖像; 根據微通孔三維二值圖像數據,對微通孔孔深和孔壁進行檢測,判斷微通孔是否符合生產標準,若否,則該微通孔不合格,若是,則該微通孔合格; 所述根據微通孔二維二值圖像數據,基于點云模型構建,獲取微通孔二維模型,具體包括: 根據微通孔二維二值圖像數據,基于輪廓識別,獲得微通孔輪廓信息; 根據微通孔輪廓信息,對微通孔邊緣輪廓中任意兩個位置進行連線,獲取微通孔輪廓特征線段; 對微通孔輪廓特征線段進行長度測量,將長度最大的微通孔輪廓特征線段,作為微通孔最長直徑; 以微通孔最長直徑為基準,將垂直于微通孔最長直徑且長度最小的微通孔輪廓特征線段,作為微通孔最短直徑; 基于微通孔生產標準,獲取微通孔標準直徑和微通孔直徑差異閾值; 根據微通孔標準直徑和微通孔直徑差異閾值,判斷微通孔最短直徑是否符合生產標準,若否,則該微通孔不合格,對其進行標記,若是,則基于微通孔工藝技術,獲取最小缺陷尺寸信息,所述最小缺陷尺寸信息表示微通孔不可忽略缺陷的最小尺寸; 根據最小缺陷尺寸信息和微通孔最短直徑,獲取點云間距信息; 根據點云間距信息和微通孔二維二值圖像數據,構建點云模型,獲取微通孔二維模型。
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