北京航空航天大學;北京瀚維玉科技有限公司高明獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京航空航天大學;北京瀚維玉科技有限公司申請的專利氧化鋅摻雜靶材制備方法、靶材、薄膜制備方法及薄膜獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120117889B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510621662.9,技術領域涉及:C04B35/453;該發明授權氧化鋅摻雜靶材制備方法、靶材、薄膜制備方法及薄膜是由高明;謝玉山設計研發完成,并于2025-05-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本氧化鋅摻雜靶材制備方法、靶材、薄膜制備方法及薄膜在說明書摘要公布了:本發明涉及陶瓷材料技術領域,具體為氧化鋅摻雜靶材制備方法、靶材、薄膜制備方法及薄膜,包括將原料粉經砂磨得到細化粉,再將細化粉制成漿料后通過噴霧造粒得到噴霧粉,將噴霧粉進行冷等靜壓制得素坯,對素坯進行加熱脫膠后,進行高溫燒結后得到靶材;噴霧造粒過程細化粉的D50粒徑為0.5μm~0.65μm,粒徑分布范圍為1.37~1.41,漿料的粘度為500cp~650cp;本發明靶材過程采用的工藝優化方案實現了從經驗試錯到模型表征、多變量控制的優化方式,并實現了對粉體粒度及分布的可控性,提高后續工藝的合理性,所制備的靶材實現了高致密度、硬度和低電阻率,所制備的薄膜性能好,壓電系數高。
本發明授權氧化鋅摻雜靶材制備方法、靶材、薄膜制備方法及薄膜在權利要求書中公布了:1.一種氧化鋅摻雜靶材制備方法,所述氧化鋅摻雜靶材為鎂摻雜氧化鋅靶材,摻雜劑為MgO,制備方法包括將原料粉經砂磨得到細化粉,再將細化粉制成漿料后通過噴霧造粒得到噴霧粉,將噴霧粉進行冷等靜壓制得素坯,對素坯進行加熱脫膠后,進行高溫燒結得到靶材,其特征在于,噴霧造粒的過程,細化粉的D50粒徑為0.5μm~0.65μm,粒徑分布范圍為1.37~1.41,漿料的粘度為500cp~650cp,霧化器頻率大于320Hz,所述噴霧粉的D50粒徑為18~24μm,噴霧粉形貌為實心粉,粒徑分布范圍為0.98~1.1,粒徑分布范圍=; 冷等靜壓壓力為250MPa; 所述加熱脫膠為真空脫膠,在升溫到220℃以后,升溫速率為0.1℃min,并且每升溫30℃后保溫120min,脫膠最高溫度設置為460℃; 高溫燒結的溫度為1400℃。
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