中國科學院上海光學精密機械研究所路晴獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院上海光學精密機械研究所申請的專利一種大口徑高陡度非球面石英玻璃超光滑拋光方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120395614B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510910315.8，技術領域涉及：B24B13/01；該發明授權一種大口徑高陡度非球面石英玻璃超光滑拋光方法是由路晴;萬嵩林;胡晨;魏朝陽;邵建達設計研發完成，并于2025-07-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種大口徑高陡度非球面石英玻璃超光滑拋光方法在說明書摘要公布了：一種大口徑高陡度非球面石英玻璃超光滑拋光方法，包括以下步驟：1）根據待加工非球面元件方程給出加工程序文件；2）確定拋光路徑、拋光時間、拋光負載等參數；3）機械作用為主的粗拋和精拋加工；4）以化學機械作用為主要特征，去除亞表面損傷層的超光滑預拋光工藝；5）去除表面原子級材料的超光滑加工工藝。本發明提出的拋光方法同時解決了拋光元件材料表面低頻面形精度確定性控制、表面缺陷控制以及超光滑加工關鍵技術問題，特別是，不受元件尺寸和非球面度影響，通用性強，穩定性高；全流程僅使用機器人拋光設備，具有成本低，效率高的優點。
本發明授權一種大口徑高陡度非球面石英玻璃超光滑拋光方法在權利要求書中公布了：1.一種大口徑高陡度非球面石英玻璃超光滑拋光方法，其特征在于，包括以下步驟： 步驟1）根據待加工非球面元件的方程生成加工程序文件； 步驟2）確定拋光路徑、拋光時間及拋光負載參數； 步驟3）采用平均粒徑為1μm-3μm的氧化鈰拋光液和硬度為60-95ShoreA的聚氨酯拋光墊組合進行粗拋加工； 步驟4）采用平均粒徑為0.3-0.6μm的氧化鈰拋光液和針入度為0.6mm-1.2mm的瀝青混合物組合進行精拋加工； 步驟5）采用平均粒徑0.1～0.3μm的氧化鈰拋光液與針入度0.15～0.5mm的瀝青混合物組合進行超光滑預拋光； 步驟6）采用平均粒徑20～40nm的氧化鈰拋光液與孔隙率90%～96%的柔性拋光介質組合進行原子級超光滑拋光。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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