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龍圖騰網(wǎng)獲悉EV 集團(tuán) E·索爾納有限責(zé)任公司申請(qǐng)的專利使用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光敏層進(jìn)行曝光的裝置和方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114167690B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111522644.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)使用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光敏層進(jìn)行曝光的裝置和方法是由B.塔爾納;B.波瓦扎伊設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2016-12-20向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本使用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光敏層進(jìn)行曝光的裝置和方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及不同焦點(diǎn)平面。本發(fā)明系關(guān)于用于曝光一光敏層之一方法，該光敏層具有一光學(xué)系統(tǒng)，在各情況中，至少一光線由至少一光源產(chǎn)生且一曝光圖案之像素由至少一微鏡裝置照明，該至少一微鏡裝置具有在各情況中具有一鏡強(qiáng)度分布的多個(gè)微鏡，其特征在于為得到曝光圖案之一圖案強(qiáng)度分布而重迭相鄰微鏡之鏡強(qiáng)度分布發(fā)生為曝光圖案之各經(jīng)照明像素之鏡強(qiáng)度分布之一總和。此外，本發(fā)明系關(guān)于使用一光學(xué)系統(tǒng)來曝光一光敏層之一裝置，該光學(xué)系統(tǒng)具有：至少一光源，至少一微鏡裝置，其具有多個(gè)微鏡，其中光學(xué)系統(tǒng)依一方式建構(gòu)，使得為形成曝光圖案之一圖案強(qiáng)度分布而重迭相鄰微鏡之鏡強(qiáng)度分布發(fā)生為曝光圖案之各經(jīng)照明像素之鏡強(qiáng)度分布之一總和。

本發(fā)明授權(quán)使用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光敏層進(jìn)行曝光的裝置和方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種使用一光學(xué)系統(tǒng)8來曝光一光敏層9的方法，至少一光線6,6'由該光學(xué)系統(tǒng)8中的至少一光源7產(chǎn)生且一曝光圖案24,24',24”,24”'的數(shù)個(gè)像素23由該光學(xué)系統(tǒng)8中的至少一微鏡裝置1照明，該至少一微鏡裝置1具有帶有一鏡強(qiáng)度分布22,22',22”的多個(gè)微鏡3，其特征在于，藉由與待曝光之層之表面比較傾斜焦點(diǎn)平面，同時(shí)曝光不同焦點(diǎn)平面上的不同結(jié)構(gòu)，并且使用使用復(fù)數(shù)個(gè)不同波長(zhǎng)之光源及或具有一寬帶波長(zhǎng)光譜之光源來產(chǎn)生復(fù)數(shù)個(gè)焦點(diǎn)平面。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人EV 集團(tuán) E·索爾納有限責(zé)任公司，其通訊地址為：奧地利圣弗洛里安；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。