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龍圖騰網(wǎng)獲悉廣東匯成真空科技股份有限公司申請(qǐng)的專利一種磁過(guò)濾弧鍍膜裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112176292B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202010983047.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/32；該發(fā)明授權(quán)一種磁過(guò)濾弧鍍膜裝置是由李志榮;李迎春;王廣文;趙丹;王彥磊設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-09-18向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種磁過(guò)濾弧鍍膜裝置在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種磁過(guò)濾弧鍍膜裝置，包括：陰極電弧源，它含電弧靶座、靶塊、永磁體和永磁體調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，靶塊安裝在靶座前端面上，靠近靶塊的靶座后端面中央安放柱狀永磁體，永磁體后面連接永磁體調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；真空鍍膜室，其室內(nèi)為真空設(shè)置；磁過(guò)濾彎管，其一端為與所述陰極電弧源的前端連接的入口端，另一端為與真空鍍膜室的內(nèi)腔連通的出口端；還包括：第一勵(lì)磁線圈，安裝在靶塊周邊，并位于陰極電弧源的外側(cè)；第一勵(lì)磁線圈用于與所述永磁體相配合對(duì)磁場(chǎng)進(jìn)行改變；多個(gè)線圈模組，其分別設(shè)置在所述磁過(guò)濾彎管的入口端、拐彎處以及出口端。本發(fā)明能夠減少陰極電弧靶等離子體中的大顆粒產(chǎn)生，層膜的沉積速率高、均勻性好，質(zhì)量好。

本發(fā)明授權(quán)一種磁過(guò)濾弧鍍膜裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種磁過(guò)濾弧鍍膜裝置，包括：陰極電弧源，它含電弧靶座、靶塊、永磁體和永磁體調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，靶塊安裝在靶座前端面上，靠近靶塊的靶座后端面中央安放柱狀永磁體，永磁體后面連接永磁體調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；真空鍍膜室，其室內(nèi)為真空設(shè)置；磁過(guò)濾彎管，其一端為與所述陰極電弧源的前端連接的入口端，另一端為與真空鍍膜室的內(nèi)腔連通的出口端；其特征在于，還包括：第一勵(lì)磁線圈，安裝在靶塊周邊，并位于陰極電弧源的外側(cè)；所述第一勵(lì)磁線圈用于與所述永磁體相配合對(duì)磁場(chǎng)進(jìn)行改變，以達(dá)到對(duì)靶面弧斑的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行控制；多個(gè)線圈模組，其分別設(shè)置在所述磁過(guò)濾彎管的入口端、拐彎處以及出口端；所述磁過(guò)濾弧鍍膜裝置還包括陽(yáng)極筒，所述陽(yáng)極筒的前端安裝所述陰極電弧源，所述陽(yáng)極筒的后端與所述磁過(guò)濾彎管連接，陽(yáng)極筒上設(shè)有真空計(jì)和連通所述陽(yáng)極筒內(nèi)腔的布?xì)夤埽瑥乃霾細(xì)夤茌斎氲臍怏w為施加了正電位的氣體；所述布?xì)夤芪挥谒鲫?yáng)極筒內(nèi)側(cè)的部分沿所述陽(yáng)極筒的內(nèi)壁繞圈設(shè)置，并分布有若干出氣孔；在布?xì)夤苌习惭b有環(huán)型金屬帶，使其與靶表面成一定的角度；所述磁過(guò)濾弧鍍膜裝置還包括冷卻管，所述冷卻管繞設(shè)在所述磁過(guò)濾彎管的外壁上；所述磁過(guò)濾弧鍍膜裝置還包括第二勵(lì)磁線圈，所述第二勵(lì)磁線圈安裝在所述磁過(guò)濾彎管的出口端與真空鍍膜室的側(cè)板之間。

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