三星電子株式會社韓奎斌獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉三星電子株式會社申請的專利圖案布局設計方法、圖案形成方法和半導體器件制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112684659B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011072242.3，技術領域涉及：G03F1/36；該發明授權圖案布局設計方法、圖案形成方法和半導體器件制造方法是由韓奎斌;金尚昱設計研發完成，并于2020-10-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本圖案布局設計方法、圖案形成方法和半導體器件制造方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種設計圖案的布局的方法、使用其形成圖案的方法、和制造半導體器件的方法。在一旋轉方向上旋轉原始圖案的布局以形成旋轉圖案的布局。將旋轉圖案的布局的頂點和分割點與參考點中離其最近的參考點匹配，并連接匹配的參考點，以形成第一修改圖案的布局。放大第一修改圖案的布局的區域，以形成第二修改圖案的布局。形成具有與旋轉圖案的布局相同的方向的參考圖案的布局。基于參考圖案和第二修改圖案的布局重疊的區域，形成目標圖案的布局。對目標圖案的布局執行光學鄰近校正，以形成第三修改圖案的布局，將第三修改圖案的布局在相反的旋轉方向上旋轉以形成最終圖案的布局。
本發明授權圖案布局設計方法、圖案形成方法和半導體器件制造方法在權利要求書中公布了：1.一種設計圖案的布局的方法，所述方法包括： 將設計在掩模上的原始圖案的布局在第一旋轉方向上旋轉一旋轉角，以形成旋轉圖案的布局，所述掩模包括參考點； 將所述旋轉圖案的所述布局的頂點和分割點分別與所述掩模的所述參考點中的對應參考點匹配，并且連接匹配的參考點以形成第一修改圖案的布局，所述掩模的所述參考點之中的所述對應參考點分別離所述旋轉圖案的所述布局的所述頂點和所述分割點最近； 擴大所述第一修改圖案的所述布局的區域，以形成第二修改圖案的布局； 形成具有與所述旋轉圖案的所述布局相同的方向的參考圖案的布局； 基于所述參考圖案的所述布局和所述第二修改圖案的所述布局彼此重疊的區域，形成目標圖案的布局； 對所述目標圖案的所述布局執行光學鄰近校正，以形成第三修改圖案的布局；以及 將所述第三修改圖案的所述布局在第二旋轉方向上旋轉所述旋轉角，以形成最終圖案的布局，所述第二旋轉方向與所述第一旋轉方向相反。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人三星電子株式會社，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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