天通日進精密技術有限公司蘇靜洪獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉天通日進精密技術有限公司申請的專利切割裝置及硅棒加工設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114102888B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011179688.6,技術領域涉及:B28D5/04;該發明授權切割裝置及硅棒加工設備是由蘇靜洪;盧建偉;錢春軍;曹奇峰;李鑫設計研發完成,并于2020-10-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本切割裝置及硅棒加工設備在說明書摘要公布了:本申請公開一種切割裝置及硅棒加工設備;所述切割裝置具有至少一線切割單元,所述線切割單元中通過確定切割輪及過渡輪的布設方式,令切割線以首尾相接的方式繞于切割輪及過渡輪之間,線切割單元由此形成可用于對硅棒開工切割的切割容納空間,所述切割裝置的整體結構可被化簡,有益于減小裝置成本;同時,環形切割線在被運行以執行切割的過程中可避免切割線的加速、減速過程對切割精度造成影響,使得切割精度提高,有益于簡化后續工序。
本發明授權切割裝置及硅棒加工設備在權利要求書中公布了:1.一種硅棒加工設備,其特征在于,包括: 機座,具有硅棒加工平臺;所述硅棒加工平臺上設有第一加工區位和第二加工區位,所述第一加工區位與第二加工區位設于第二方向的相對兩側; 第一硅棒夾具,設于所述第一加工區位,用于在所述第一加工區位上夾持硅棒并帶動硅棒沿第一方向移動; 第二硅棒夾具,設于所述第二加工區位,用于在所述第二加工區位上夾持硅棒并帶動硅棒沿第一方向移動; 切割裝置,包括切割架及至少一線切割單元;其中,所述線切割單元藉由線切割支座設于所述切割架上,所述線切割單元包括:切割線;第一切割輪及第二切割輪,設于所述切割架,所述第一切割輪及第二切割輪的輪面相平行或共面,所述切割線繞于所述第一切割輪及第二切割輪以形成切割線鋸;第一過渡輪,設于所述第一切割輪旁側,用于牽引繞于所述第一切割輪的切割線以令繞于所述第一切割輪的切割線共面于所述第一切割輪的第一切割線槽所在平面;第二過渡輪,設于所述第二切割輪旁側,用于牽引繞于所述第二切割輪的切割線以令繞于所述第二切割輪的切割線共面于所述第二切割輪的第二切割線槽所在平面;至少一第三過渡輪,設于所述第一過渡輪及第二過渡輪之間,用于牽引所述第一過渡輪與所述第二過渡輪之間的切割線,以令所述線切割單元中形成一切割容納空間;其中,所述切割線繞于所述第一切割輪、第二切割輪、第一過渡輪、第二過渡輪及第三過渡輪之間以形成首尾相接的閉環切割線; 第一轉換機構,設于硅棒加工平臺上的第一安裝位置且連接所述切割裝置,包括第一轉軸,驅動第一轉軸轉動預設角度以使所述切割裝置在第一加工區位和第二加工區位之間轉換位置;所述第一轉軸設于第一方向; 研磨裝置,用于對所述切割裝置開方切割后的硅棒進行研磨; 第二轉換機構,設于硅棒加工平臺上的第二安裝位置且連接所述研磨裝置,包括第二轉軸,驅動第二轉軸轉動預設角度以使所述研磨裝置在第一加工區位和第二加工區位之間轉換位置;所述第二轉軸設于重垂線方向,所述第一方向、第二方向、以及重垂線方向兩兩垂直; 邊皮承托機構,用于抵靠硅棒外側并承托切割形成的邊皮;所述邊皮承托機構包括:至少一承托組件和至少一安裝部,所述承托組件藉由所述安裝部設于所述線切割支座;所述承托組件包括:承托部,受控抵靠并承托所述邊皮;驅動單元,連接所述承托部以控制所述承托部遠離或抵靠所述邊皮。
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