買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉光馳科技(上海)有限公司申請的專利一種連續(xù)式的公自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的自動(dòng)搬運(yùn)濺射成膜裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112267101B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202011357028.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/35；該發(fā)明授權(quán)一種連續(xù)式的公自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的自動(dòng)搬運(yùn)濺射成膜裝置是由靳偉;余海春;戴秀海設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-11-27向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種連續(xù)式的公自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的自動(dòng)搬運(yùn)濺射成膜裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種連續(xù)式的公自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的自動(dòng)搬運(yùn)濺射成膜裝置，包括進(jìn)出片室、鍍膜室、搬運(yùn)室以及外部基片架，其中搬運(yùn)室設(shè)置在進(jìn)出片室和鍍膜室之間，搬運(yùn)室內(nèi)部設(shè)置有基片真空搬運(yùn)系統(tǒng)，基片真空搬運(yùn)系統(tǒng)用于實(shí)現(xiàn)進(jìn)出片室和鍍膜室之間的基片交換，進(jìn)出片室和外部基片架之間通過外部機(jī)械手實(shí)現(xiàn)基片交換。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：1）在可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)搬運(yùn)的同時(shí)，顯著提高搬運(yùn)效率；2）使不同的腔體的接口所需空間很小；這樣可以使進(jìn)出片室和鍍膜室的可以留出更多的腔體空間進(jìn)行工藝所需單元的布置，有利于設(shè)備的布局規(guī)劃及工藝拓展；3）成膜的均勻性更好；同時(shí)，使一次鍍膜工藝的產(chǎn)能增大；4）保證工藝的最優(yōu)化，有效提高濺射工藝的成膜質(zhì)量。

本發(fā)明授權(quán)一種連續(xù)式的公自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的自動(dòng)搬運(yùn)濺射成膜裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種連續(xù)式的公自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的自動(dòng)搬運(yùn)濺射成膜裝置，其特征在于：所述濺射成膜裝置包括進(jìn)出片室、鍍膜室、搬運(yùn)室以及外部基片架，其中所述搬運(yùn)室設(shè)置在所述進(jìn)出片室和所述鍍膜室之間，所述搬運(yùn)室內(nèi)部設(shè)置有基片真空搬運(yùn)系統(tǒng)，所述基片真空搬運(yùn)系統(tǒng)用于實(shí)現(xiàn)所述進(jìn)出片室和所述鍍膜室之間的基片交換，所述進(jìn)出片室和所述外部基片架之間通過外部機(jī)械手實(shí)現(xiàn)基片交換、 所述基片真空搬運(yùn)系統(tǒng)包括前后推進(jìn)模組、旋轉(zhuǎn)模組、兩個(gè)取片機(jī)構(gòu)，兩個(gè)所述取片機(jī)構(gòu)與所述前后推進(jìn)模組相連接并可在所述前后推進(jìn)模組的驅(qū)動(dòng)下前后推進(jìn)，所述旋轉(zhuǎn)模組連接所述前后推進(jìn)模組并可通過驅(qū)動(dòng)所述兩個(gè)取片機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)所述進(jìn)出片室和所述鍍膜室之間的基片交換，該基片交換指的是，鍍膜室內(nèi)的已成膜基片或基片串和進(jìn)出片室內(nèi)的待成膜基片或基片串之間的交換。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人光馳科技(上海)有限公司，其通訊地址為：200444 上海市寶山區(qū)寶山城市工業(yè)園區(qū)城銀路267號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。