廣東聚華印刷顯示技術(shù)有限公司高卓獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉廣東聚華印刷顯示技術(shù)有限公司申請的專利柔性器件的剝離方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114038781B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202011636448.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/683;該發(fā)明授權(quán)柔性器件的剝離方法是由高卓設(shè)計研發(fā)完成,并于2020-12-31向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本柔性器件的剝離方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種柔性器件的剝離方法,所述柔性器件包括層疊設(shè)置的柔性襯底和柔性功能層,所述柔性襯底遠離所述柔性功能層的一側(cè)設(shè)置于載體基板上,所述剝離方法包括如下步驟:利用第一激光透過所述載體基板掃描所述柔性器件的第一區(qū)域;利用第二激光透過所述載體基板掃描所述柔性器件的第二區(qū)域;其中,所述柔性器件上的所述第二區(qū)域位于所述第一區(qū)域的范圍內(nèi)。該柔性器件的剝離方法在分離柔性襯底與載體基板的過程中,大大減少了因微粒所處位點粘結(jié)力較強而導(dǎo)致的柔性器件撕裂,有效提高了剝離柔性器件工藝的良品率。
本發(fā)明授權(quán)柔性器件的剝離方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種柔性器件的剝離方法,其特征在于,所述柔性器件包括層疊設(shè)置的柔性襯底和柔性功能層,所述柔性襯底遠離所述柔性功能層的一側(cè)設(shè)置于載體基板上,所述剝離方法包括如下步驟: 利用第一激光透過所述載體基板掃描所述柔性器件的第一區(qū)域; 利用第二激光透過所述載體基板掃描所述柔性器件的第二區(qū)域; 其中,所述柔性器件上的所述第二區(qū)域位于所述第一區(qū)域的范圍內(nèi); 采用所述第二激光一次或多次掃描所述第二區(qū)域,各次采用所述第二激光掃描的步驟中所述第二激光聚焦的聚焦平面不相同; 采用所述第二激光多次掃描所述第二區(qū)域時,所述第二激光聚焦的聚焦平面朝著所述柔性襯底與所述載體基板之間的界面至所述柔性襯底的方向逐漸偏移。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人廣東聚華印刷顯示技術(shù)有限公司,其通訊地址為:510000 廣東省廣州市廣州中新廣州知識城鳳凰三路17號自編五棟388;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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