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龍圖騰網(wǎng)獲悉哈爾濱工業(yè)大學(xué)申請(qǐng)的專利材料中不同種類空位缺陷的識(shí)別和統(tǒng)計(jì)方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115171797B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210768357.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G16C10/00；該發(fā)明授權(quán)材料中不同種類空位缺陷的識(shí)別和統(tǒng)計(jì)方法是由李興冀;荊宇航;楊劍群;徐曉東設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-06-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本材料中不同種類空位缺陷的識(shí)別和統(tǒng)計(jì)方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種材料中不同種類空位缺陷的識(shí)別和統(tǒng)計(jì)方法。屬于模擬技術(shù)領(lǐng)域。所述方法包括建立與材料對(duì)應(yīng)的體系模型；設(shè)定模擬參數(shù)，利用分子動(dòng)力學(xué)方法對(duì)所述體系模型進(jìn)行缺陷演化模擬計(jì)算；獲取缺陷演化過程直至缺陷演化完成后的各體系結(jié)構(gòu)，并獲取所述體系結(jié)構(gòu)中的空位缺陷及其坐標(biāo)信息；利用團(tuán)簇分析法將所述空位缺陷劃分為不同種類的空位團(tuán)簇；統(tǒng)計(jì)同一種類所述空位團(tuán)簇的數(shù)目，根據(jù)各體系結(jié)構(gòu)中空位團(tuán)簇的信息，得到不同種類空位缺陷隨時(shí)間演化的關(guān)系。本發(fā)明可以直觀且準(zhǔn)確的表征出半導(dǎo)體材料受輻照后材料中各類空位缺陷的存在情況，且方法邏輯清晰，步驟簡(jiǎn)單、易于操作。

本發(fā)明授權(quán)材料中不同種類空位缺陷的識(shí)別和統(tǒng)計(jì)方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種材料中不同種類空位缺陷的識(shí)別和統(tǒng)計(jì)方法，其特征在于，包括： 步驟S1，建立與材料對(duì)應(yīng)的體系模型； 步驟S2，設(shè)定模擬參數(shù)，利用分子動(dòng)力學(xué)方法對(duì)所述體系模型進(jìn)行缺陷演化模擬計(jì)算； 步驟S3，獲取缺陷演化過程直至缺陷演化完成后的各體系結(jié)構(gòu)，并獲取所述體系結(jié)構(gòu)中的空位缺陷及其坐標(biāo)信息； 步驟S4，利用團(tuán)簇分析法將所述空位缺陷劃分為不同種類的空位團(tuán)簇，包括：將位于截?cái)喟霃絻?nèi)的空位缺陷劃分為一個(gè)空位團(tuán)簇，統(tǒng)計(jì)所述空位團(tuán)簇內(nèi)的空位缺陷的數(shù)目，根據(jù)所述空位團(tuán)簇內(nèi)所述空位缺陷的數(shù)目，將所述空位團(tuán)簇劃分為不同種類，得到不同種類的空位團(tuán)簇，其中，所述將位于截?cái)喟霃絻?nèi)的空位缺陷劃分為一個(gè)空位團(tuán)簇，包括：當(dāng)標(biāo)定空位缺陷的截?cái)喟霃絻?nèi)沒有其它空位缺陷時(shí)，所述標(biāo)定空位缺陷為單空位缺陷；當(dāng)相鄰兩個(gè)空位缺陷之間的距離小于或等于所述截?cái)喟霃綍r(shí)，所述相鄰兩個(gè)空位缺陷劃分為雙空位團(tuán)簇；當(dāng)位于所述雙空位團(tuán)簇中的任意一個(gè)空位缺陷的截?cái)喟霃絻?nèi)存在其它n個(gè)空位缺陷時(shí)，將n+2個(gè)空位缺陷劃分為n+2空位團(tuán)簇；當(dāng)位于所述n+2空位團(tuán)簇中的任意一個(gè)空位缺陷的截?cái)喟霃絻?nèi)存在其它m個(gè)空位缺陷時(shí)，將n+2+m個(gè)空位缺陷劃分為n+2+m空位團(tuán)簇，其中n≥1，m≥1；按照此方式依次進(jìn)行，直至標(biāo)定空位團(tuán)簇內(nèi)的任意一個(gè)空位缺陷的截?cái)喟霃絻?nèi)不存在其它空位缺陷時(shí)，根據(jù)所述標(biāo)定空位團(tuán)簇內(nèi)的所述空位缺陷的數(shù)目確定所述標(biāo)定空位團(tuán)簇的種類； 步驟S5，統(tǒng)計(jì)同一種類所述空位團(tuán)簇的數(shù)目，根據(jù)各體系結(jié)構(gòu)中空位團(tuán)簇的信息，得到不同種類空位缺陷隨時(shí)間演化的關(guān)系。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人哈爾濱工業(yè)大學(xué)，其通訊地址為：150000 黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街92號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。