歌爾光學(xué)科技有限公司馬顯達(dá)獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉歌爾光學(xué)科技有限公司申請(qǐng)的專利疊合光波導(dǎo)元件及其制備方法和頭戴顯示設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115356805B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202211049598.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G02B6/13;該發(fā)明授權(quán)疊合光波導(dǎo)元件及其制備方法和頭戴顯示設(shè)備是由馬顯達(dá);饒軼設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-08-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本疊合光波導(dǎo)元件及其制備方法和頭戴顯示設(shè)備在說(shuō)明書摘要公布了:本申請(qǐng)公開(kāi)了一種疊合光波導(dǎo)元件及其制備方法和頭戴顯示設(shè)備;所述制備方法包括:提供至少兩個(gè)晶圓,所述晶圓包括波導(dǎo)區(qū)域及邊緣區(qū)域,所述波導(dǎo)區(qū)域包括至少一個(gè)目標(biāo)波導(dǎo)片,所述邊緣區(qū)域形成有至少兩個(gè)凸柱;根據(jù)所述目標(biāo)波導(dǎo)片的數(shù)量和排列位置,在所述晶圓上形成預(yù)分割路徑;將所述至少兩個(gè)晶圓疊設(shè)形成疊合晶圓,任兩個(gè)相鄰的所述晶圓之間通過(guò)所述凸柱形成間隙;其中,任兩個(gè)相鄰的所述晶圓的所述目標(biāo)波導(dǎo)片為一一對(duì)應(yīng),相對(duì)應(yīng)的任兩個(gè)所述目標(biāo)波導(dǎo)片之間具有空氣間隔且邊緣之間通過(guò)膠線膠接;沿所述預(yù)分割路徑對(duì)所述疊合晶圓進(jìn)行裂片處理,得到一個(gè)或多個(gè)獨(dú)立的疊合光波導(dǎo)元件。本申請(qǐng)能夠精確控制疊合光波導(dǎo)元件中波導(dǎo)片間的空氣間隔。
本發(fā)明授權(quán)疊合光波導(dǎo)元件及其制備方法和頭戴顯示設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了:1.一種疊合光波導(dǎo)元件的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括: 提供至少兩個(gè)晶圓10,所述晶圓10包括波導(dǎo)區(qū)域及邊緣區(qū)域,所述波導(dǎo)區(qū)域包括至少一個(gè)目標(biāo)波導(dǎo)片30,所述邊緣區(qū)域形成有至少兩個(gè)凸柱20; 根據(jù)所述目標(biāo)波導(dǎo)片30的數(shù)量和排列位置,在所述晶圓10上形成預(yù)分割路徑50; 將所述至少兩個(gè)晶圓10疊設(shè)形成疊合晶圓,任兩個(gè)相鄰的所述晶圓10之間通過(guò)所述凸柱20形成間隙60;其中,任兩個(gè)相鄰的所述晶圓10的所述目標(biāo)波導(dǎo)片30為一一對(duì)應(yīng),相對(duì)應(yīng)的任兩個(gè)所述目標(biāo)波導(dǎo)片30之間具有空氣間隔且邊緣之間通過(guò)膠線40膠接; 沿所述預(yù)分割路徑50對(duì)所述疊合晶圓進(jìn)行裂片處理,得到一個(gè)或者多個(gè)獨(dú)立的疊合光波導(dǎo)元件; 所述制備方法還包括: 在所述晶圓10形成有所述凸柱20的表面上,沿每個(gè)所述目標(biāo)波導(dǎo)片30的邊緣輪廓進(jìn)行點(diǎn)膠形成膠線40;其中,所述膠線的高度大于所述凸柱20的高度。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人歌爾光學(xué)科技有限公司,其通訊地址為:261061 山東省濰坊市高新區(qū)清池街道永春社區(qū)惠賢路3999號(hào)歌爾光電產(chǎn)業(yè)園三期1號(hào)廠房;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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