湘潭大學張勇獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉湘潭大學申請的專利用于多種氣體識別的碳基薄膜晶體管型傳感器陣列及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115420788B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211071534.4,技術領域涉及:G01N27/414;該發明授權用于多種氣體識別的碳基薄膜晶體管型傳感器陣列及其制備方法是由張勇;劉燦;孫宇;郭嘉懿;李秀磊設計研發完成,并于2022-09-01向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于多種氣體識別的碳基薄膜晶體管型傳感器陣列及其制備方法在說明書摘要公布了:本發明提供一種用于多種氣體識別的碳基薄膜晶體管型傳感器陣列及其制備方法,傳感器陣列結構包括四個獨立的氣體檢測通道,每個氣體檢測通道由硅基襯底、介電層、源極電極、漏極電極及溝道有源層構成傳感組件。溝道有源層所在的區域的敏感材料層,用于提高溝道有源層CNT的選擇性。每個氣體檢測通道的CNT?TFT型傳感組件通過暴露在目標氣體前后,將氣體的變化轉變為電學信號,對氣體進行信息采集和輸出電信號。基于四個氣體檢測通道的響應輸出結合線性判別分析算法通過分析信息識別出氣體。本發明提出的用多種氣體識別的碳基薄膜晶體管型傳感器陣列,能實現對氨氣、硫化氫和甲醛三種氣體的高靈敏檢測和準確識別,促進室內多種有害氣體的實時在線監測。
本發明授權用于多種氣體識別的碳基薄膜晶體管型傳感器陣列及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種用于多種氣體識別的碳基薄膜晶體管型傳感器陣列,其特征在于,所述碳基薄膜晶體管型傳感器陣列包括多個獨立的氣體檢測通道,用于同時檢測甲醛、氨氣以及硫化氫氣體,每個氣體檢測通道包括一由硅基襯底、介電層、源極電極、漏極電極以及溝道層構成的CNT-FET型傳感單元; 多個氣體檢測通道中的CNT-FET型傳感單元的溝道有源層均不相同,并且每一個CNT-FET型傳感單元均配置獨立的響應信號輸出; 其中,每一個CNT-FET型傳感單元配置成包括以下構成: 硅基襯底,限定了第一表面和相對的第二表面; 位于硅基襯底的第一表面的介電層; 位于介電層上方的溝道層;以及 位于溝道層的上方兩側、并間隔開的源極電極以及漏極電極; 其中,每個CNT-FET型傳感單元的溝道層均由一種溝道有源層構成,所述溝道有源層選自s-CNT溝道以及不同金屬修飾的s-CNT溝道中的一種; 所述不同金屬修飾的s-CNT包括: s-CNT溝道;以及 沉積在s-CNT溝道的表面的金屬薄膜層,所述金屬薄膜層為Ti薄膜、Au薄膜以及Cu薄膜; 所述s-CNT溝道為網狀結構的s-CNT溝道結構,其厚度為1~2nm。
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