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龍圖騰網(wǎng)獲悉英作納米科技(北京)有限公司申請(qǐng)的專利一種原子層沉積方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN117821941B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202211195472.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/455；該發(fā)明授權(quán)一種原子層沉積方法是由郭敏;陳宇林;王東君設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-09-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種原子層沉積方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明是一種可以實(shí)現(xiàn)樣片在每個(gè)單次循環(huán)時(shí)的單面原子層沉積方法。通過(guò)控制樣片兩面的極性和前驅(qū)體所帶電荷，可以有選擇的將前驅(qū)體吸附到樣片的指定面。為了實(shí)現(xiàn)單次循環(huán)時(shí)，樣片指定面的單面原子層沉積，本發(fā)明不需要對(duì)樣片進(jìn)行粘貼、涂膠、光刻、刻蝕、清洗等操作。通過(guò)本發(fā)明的方法可以很好地解決原子層沉積背面繞鍍問(wèn)題。在原子層沉積過(guò)程中，實(shí)現(xiàn)樣片單面原子層沉積，可以在反應(yīng)過(guò)程中隨時(shí)切換樣片需要沉積的那一面，一次沉積過(guò)程就可以根據(jù)鍍膜需求，實(shí)現(xiàn)樣片兩面不同厚度、不同材料的沉積。

本發(fā)明授權(quán)一種原子層沉積方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種原子層沉積方法，其特征在于，所述方法應(yīng)用于原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔體內(nèi)，所述反應(yīng)腔體內(nèi)設(shè)有一個(gè)初始狀態(tài)比較均勻的電場(chǎng)，所述反應(yīng)腔體內(nèi)放置有樣片，所述樣片沿垂直電場(chǎng)方向放置在所述電場(chǎng)中；所述方法包括： 步驟一：樣片在電場(chǎng)的作用下產(chǎn)生極化，從而使得樣片的兩面帶上不同的電荷，一面帶正電荷一面帶負(fù)電荷； 步驟二：將帶有電荷的第一前驅(qū)體通入所述反應(yīng)腔體，帶有電荷的第一前驅(qū)體化學(xué)吸附于所述樣片的帶相反電荷的那面； 步驟三：抽走未被吸附的第一前驅(qū)體； 步驟四：將與第一前驅(qū)體所帶電荷相同的第二前驅(qū)體通入所述反應(yīng)腔體，或者改變電場(chǎng)方向?qū)⑴c第一前驅(qū)體所帶電荷相反的第二前驅(qū)體通入所述反應(yīng)腔體，或者關(guān)閉電場(chǎng)將第二前驅(qū)體通入所述反應(yīng)腔體，所述第二前驅(qū)體和所述第一前驅(qū)體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)； 步驟五：抽走未被吸附的第二前驅(qū)體及反應(yīng)副產(chǎn)物； 步驟一至步驟五是一個(gè)單次循環(huán)，樣片在沉積過(guò)程中，每一個(gè)單次循環(huán)都可以實(shí)現(xiàn)單面原子層沉積，重復(fù)執(zhí)行步驟一至步驟五，直至在所述樣片單面上形成預(yù)設(shè)薄膜為止； 在樣片一個(gè)單面上形成預(yù)設(shè)薄膜后，改變電場(chǎng)方向，使樣片兩面所帶的電荷與未改變電場(chǎng)方向之前所帶的電荷相反，采用上述同樣的方法，通入第三前驅(qū)體和第四前驅(qū)體，將與第一前驅(qū)體所帶電荷相同的第三前驅(qū)體在步驟二中通入，化學(xué)吸附到樣片的另一個(gè)單面上，將第四前驅(qū)體在步驟四中通入，與第三前驅(qū)體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，通過(guò)若干次循環(huán)后，達(dá)到預(yù)設(shè)的薄膜厚度； 或者，在樣片一個(gè)單面上形成預(yù)設(shè)薄膜后，維持電場(chǎng)方向不變，采用上述同樣的方法，通入第三前驅(qū)體和第四前驅(qū)體，將與第一前驅(qū)體所帶電荷相反的第三前驅(qū)體在步驟二中通入，化學(xué)吸附到樣片的另一個(gè)單面上，將第四前驅(qū)體在步驟四中通入，與第三前驅(qū)體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，通過(guò)若干次循環(huán)后，達(dá)到預(yù)設(shè)的薄膜厚度； 所述第一前驅(qū)體、第三前驅(qū)體采用電離、電場(chǎng)極化或靜電感應(yīng)的方法帶上電荷。

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