北京工業(yè)大學(xué)宋輝旭獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京工業(yè)大學(xué)申請的專利基于點自聚焦原理的光探針測頭獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN115790438B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202211364909.6,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01B11/24;該發(fā)明授權(quán)基于點自聚焦原理的光探針測頭是由宋輝旭;李慶偉;石照耀;蘭瑞利設(shè)計研發(fā)完成,并于2022-11-02向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本基于點自聚焦原理的光探針測頭在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了基于點自聚焦原理的光探針測頭,基于點自聚焦原理,利用自聚焦傳感器實時跟蹤被測齒面上物鏡焦點的位置,并通過高精度直線光柵記錄物鏡位移量,進而實現(xiàn)微小齒輪全齒面數(shù)據(jù)的獲取。包括照明光源、激光光源、透鏡、自聚焦傳感器、CCD相機、分光鏡、z軸控制器、z軸移動平臺、物鏡、z軸光柵、差動共焦模塊、反射鏡;當(dāng)被測物靠近或遠離測頭移動時,經(jīng)過被測物表面反射的激光束在自聚焦傳感器上的位置移動。自聚焦傳感器將產(chǎn)生的偏差信號發(fā)送至z軸控制器,進而控制z軸移動平臺移動,使物鏡焦點的位置與自聚焦傳感器的中心位置再次達到平衡。z軸光柵記錄測頭移動的位移量,并將該位移量作為被測物表面位置數(shù)據(jù)的變化量。
本發(fā)明授權(quán)基于點自聚焦原理的光探針測頭在權(quán)利要求書中公布了:1.基于點自聚焦原理的光探針測頭,其特征在于:包括照明光源、激光光源、第一透鏡、第二透鏡、自聚焦傳感器、CCD相機、第一分光鏡、第二分光鏡、z軸控制器、z軸移動平臺、物鏡、z軸光柵、差動共焦模塊、第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡和第四反射鏡;激光光源發(fā)出的激光束經(jīng)過第二反射鏡反射后,透射過第一分光鏡,再被第二分光鏡反射,經(jīng)過物鏡的聚焦后,照射到被測物的表面;反射回物鏡的光被準(zhǔn)直,一部分光在經(jīng)過第二分光鏡和第一分光鏡的反射后,被第一透鏡聚焦到自聚焦傳感器上;另一部分光被第二分光鏡反射,并透射過第一分光鏡,再經(jīng)過第四反射鏡和第三反射鏡的反射,照射到差動共焦模塊內(nèi)部;物鏡焦點的位置與自聚焦傳感器的中心位置相對應(yīng),即當(dāng)激光束被聚焦到被測物的表面時,反射回的激光束也能夠被第一透鏡聚焦到自聚焦傳感器的中心;差動共焦模塊用于校準(zhǔn)物鏡焦點的位置與自聚焦傳感器的中心位置的對應(yīng)關(guān)系;照明光源發(fā)出的白光光束經(jīng)過第一反射鏡的反射,并透射過第一分光鏡,再被第二分光鏡反射,經(jīng)過物鏡的聚焦后,照射到被測物的表面;反射回物鏡的光被準(zhǔn)直后再透射過第二分光鏡,被第二透鏡聚焦到CCD相機上;CCD相機用于監(jiān)測被測物表面的實時信息;當(dāng)物鏡沒有將激光束聚焦到被測物表面時,第一透鏡也不會將激光束聚焦到自聚焦傳感器的中心,自聚焦傳感器將產(chǎn)生的偏差信號發(fā)送至z軸控制器,進而控制z軸移動平臺沿測頭移動方向移動,使物鏡焦點的位置與自聚焦傳感器的中心位置再次達到平衡;z軸光柵用于記錄測頭移動的位移量。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人北京工業(yè)大學(xué),其通訊地址為:100124 北京市朝陽區(qū)平樂園100號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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