中國科學院長春光學精密機械與物理研究所張博獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院長春光學精密機械與物理研究所申請的專利光柵刻劃機相對最優初始狀態自動優化方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN118859392B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202410901677.6,技術領域涉及:G02B5/18;該發明授權光柵刻劃機相對最優初始狀態自動優化方法是由張博;于宏柱;李文昊;姚雪峰;吉日嘎蘭圖;于碩;梁烘智;王銳博設計研發完成,并于2024-07-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本光柵刻劃機相對最優初始狀態自動優化方法在說明書摘要公布了:本發明涉及光柵制造技術領域,尤其涉及一種光柵刻劃機相對最優初始狀態自動優化方法,在控制系統中設定最小加工速度、最大加工速度以及刀架系統和分度系統在分度方向上的目標相對誤差;控制系統根據最小加工速度和最大加工速度控制分度系統和刻劃系統對待加工光柵進行加工,得到不同加工速度下刀架系統和分度系統在分度方向上的實際相對誤差,對實際相對誤差和目標相對誤差進行比較,并根據比較結果采用二分法循環迭代確定最后的加工速度,在保證刻劃過程中儀器相對穩定的同時提升確定加工速度的準確性。
本發明授權光柵刻劃機相對最優初始狀態自動優化方法在權利要求書中公布了:1.一種光柵刻劃機相對最優初始狀態自動優化方法,其特征在于:具體包括以下步驟: S1:將刀架系統安裝在分度系統上,待加工光柵安裝在垂直于所述分度系統的運動方向的刻劃系統上,偏差測量系統安裝在所述分度系統和所述刻劃系統上;控制系統分別與所述分度系統、所述刻劃系統與所述偏差測量系統連接; 在所述步驟S1中,所述分度系統包括分度氣浮位移臺;其中,所述分度氣浮位移臺的分度固定基座安裝在工作平臺上,所述刀架系統安裝在所述分度氣浮位移臺的分度移動臺上,使所述分度移動臺帶動所述刀架系統沿所述分度固定基座進行移動;所述分度固定基座與所述控制系統連接,使所述分度固定基座根據所述控制系統的控制信號驅動所述分度移動臺; 在所述步驟S1中,所述刻劃系統包括刻劃氣浮位移臺;其中,所述刻劃氣浮位移臺的刻劃固定基座安裝在工作平臺上,且所述刻劃固定基座垂直于所述分度固定基座設置;所述待加工光柵通過光柵底座固定安裝在所述刻劃氣浮位移臺的刻劃移動臺上;所述刻劃固定基座與所述控制系統連接,使所述刻劃固定基座根據所述控制系統的控制信號驅動所述刻劃移動臺; 在所述步驟S1中,所述偏差測量系統包括激光器、測量鏡、干涉計、探測器和測量板卡;其中,所述激光器和所述干涉計安裝在所述分度移動臺上,所述測量鏡安裝在所述刻劃移動臺上,使所述激光器發出的參考激光經所述干涉計照射在所述測量鏡上,所述測量鏡將產生的反射激光反射回所述干涉計中;所述參考激光與所述反射激光在所述干涉計中發生干涉;所述探測器與所述干涉計連接,所述干涉計產生的干涉信號傳遞到所述探測器中,所述探測器再將探測結果傳遞到所述測量板卡中,所述測量板卡根據接收到的探測結果進行計算,得到不同加工速度下所述刀架系統和所述分度系統在所述分度系統的運動方向上的位移偏差,再將所述位移偏差傳輸到所述控制系統中; S2:在所述控制系統中設定對所述待加工光柵加工的最小加工速度和最大加工速度,以及所述刀架系統和所述分度系統在所述分度系統的運動方向上的目標相對誤差; S3:所述控制系統根據所述最小加工速度控制所述分度系統和所述刻劃系統對所述待加工光柵進行加工,并通過所述偏差測量系統得到在所述最小加工速度下對應的所述刀架系統和所述分度系統在所述分度系統的運動方向上的實際相對誤差; S4:以所述最大加工速度替換所述最小加工速度,并重復所述步驟S3,得到在所述最大加工速度下對應的所述刀架系統和所述分度系統在所述分度系統的運動方向上的實際相對誤差; S5:所述控制系統將當前兩個實際相對誤差與所述目標相對誤差進行比較:若兩個實際相對誤差中的最小值小于等于所述目標相對誤差,所述最小值對應的加工速度即為目標加工速度,并停止對所述待加工光柵進行加工;若兩個實際相對誤差中的最小值大于所述目標相對誤差,計算兩個實際相對誤差對應的加工速度的平均速度,以所述平均速度替換當前兩個實際相對誤差中的最大值對應的加工速度,再重復所述步驟S3計算所述平均速度對應的實際相對誤差; S6:將所述最小值和所述平均速度的實際相對誤差與所述目標相對誤差進行比較,并重復所述步驟S5,直至當前兩個實際相對誤差中的最小值小于等于所述目標相對誤差,此時的最小值對應的加工速度即為目標加工速度。
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