中微半導體設備(上海)股份有限公司劉凱獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中微半導體設備(上海)股份有限公司申請的專利一種治具獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223321233U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422053744.1，技術領域涉及：H01J37/32；該實用新型一種治具是由劉凱;郝永亮設計研發完成，并于2024-08-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種治具在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種治具，用于裝卸靜電吸盤，其包括：主體框件，其可以固定安裝在所述反應腔頂部；支撐件，其與所述主體框件固定連接且可以位于所述反應腔的頂部；至少兩個限位件，每個所述限位件貫穿所述支撐件且可上下移動；平衡件，其與各個所述限位件的下端固定連接，且在水平面內具有延展的形狀；裝配桿，其沿橫向與所述平衡件固定連接且至少位于兩個所述限位件的下端之間，所述裝配桿的兩端設有可以與靜電吸盤固定連接的固定部；升降裝置，其一端設置在所述支撐件上，另一端穿過所述支撐件與裝配桿連接，以驅動裝配桿升降，實現靜電吸盤的水平裝卸，減少了靜電吸盤的磕碰損傷。
本實用新型一種治具在權利要求書中公布了：1.一種治具，用于裝卸設置在半導體處理裝置的反應腔內的靜電吸盤，其特征在于，包括： 主體框件，其可以固定安裝在所述反應腔頂部； 支撐件，其與所述主體框件固定連接且可以位于所述反應腔的頂部； 至少兩個限位件，每個所述限位件貫穿所述支撐件且可上下移動； 平衡件，其與各個所述限位件的下端固定連接，且在水平面內具有延展的形狀； 裝配桿，其沿橫向與所述平衡件固定連接且至少位于兩個所述限位件的下端之間，所述裝配桿的兩端設有可以與靜電吸盤固定連接的固定部； 升降裝置，其一端設置在所述支撐件上，另一端穿過所述支撐件與裝配桿連接，以驅動裝配桿升降，實現裝卸靜電吸盤。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中微半導體設備(上海)股份有限公司，其通訊地址為：201201 上海市浦東新區金橋出口加工區(南區)泰華路188號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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