蘇州賽騰精密電子股份有限公司孫豐獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州賽騰精密電子股份有限公司申請的專利晶圓處理裝置獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223321239U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422079976.4,技術領域涉及:H01L21/67;該實用新型晶圓處理裝置是由孫豐;曹鏑設計研發完成,并于2024-08-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓處理裝置在說明書摘要公布了:本實用新型涉及晶圓加工領域,涉及一種晶圓處理裝置。本實用新型的加工治具對晶圓產品進行定位,驅動組件帶動加工治具上的晶圓產品進行旋轉或者升降調整,定位效果好,可以實現對晶圓產品的快速加工;在基板與機架之間設置有第一減震組件、底板與基板之間設置有第二減震組件,通過采用上述多重減震結構,能夠在驅動組件上下以及旋轉調整產品工作過程中有效減輕對機架和或外殼的震動,提高加工精度。
本實用新型晶圓處理裝置在權利要求書中公布了:1.一種晶圓處理裝置,其特征在于,包括: 機架,所述機架上設置有加工工位; 加工治具,設置于所述加工工位上,所述加工治具用于對晶圓產品進行定位; 驅動組件,設置于機架上,所述驅動組件與所述加工治具驅動連接,所述驅動組件用于帶動加工治具上的晶圓產品進行旋轉或者升降調整; 基板,設置于所述機架下方,所述基板與所述機架之間設置有第一減震組件; 底板,設置于所述基板下方,所述底板與所述基板之間設置有第二減震組件。
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