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龍圖騰網(wǎng)獲悉四川三三零半導(dǎo)體有限公司申請的專利一種帶有壓縮空氣冷卻的微波等離子體設(shè)備獲國家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223316782U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202422088868.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/511；該實(shí)用新型一種帶有壓縮空氣冷卻的微波等離子體設(shè)備是由李小嵐;劉旭東;馮建偉設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-08-27向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種帶有壓縮空氣冷卻的微波等離子體設(shè)備在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型提供一種帶有壓縮空氣冷卻的微波等離子體設(shè)備，包括設(shè)備本體和貫穿設(shè)備本體的頂壁并延伸至耦合腔內(nèi)用于輸送冷卻壓縮空氣的底部開口的風(fēng)冷天線，耦合腔內(nèi)設(shè)有位于風(fēng)冷天線正下方的石英微波窗口，耦合腔周向分布有若干個散熱通孔，進(jìn)風(fēng)管，出風(fēng)口，水冷管，進(jìn)水管，回水管，攪拌軸，攪拌葉片，驅(qū)動模塊，風(fēng)冷輔助模塊。根據(jù)本實(shí)用新型的帶有壓縮空氣冷卻的微波等離子體設(shè)備，不僅能夠能夠滿足人們的基本需求，并利用冷卻壓縮空氣及時有效地將腔體內(nèi)的高溫通過熱交換冷卻，避免石英微波窗口的損壞，且能夠使得水冷結(jié)構(gòu)中冷卻水的冷卻效果得到充分地發(fā)揮，從而提高對耦合腔的冷卻效果，并避免造成對冷卻水的冷卻效果的浪費(fèi)。

本實(shí)用新型一種帶有壓縮空氣冷卻的微波等離子體設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種帶有壓縮空氣冷卻的微波等離子體設(shè)備，包括設(shè)備本體101和貫穿設(shè)備本體101的頂壁并延伸至耦合腔102內(nèi)用于輸送冷卻壓縮空氣的底部開口的風(fēng)冷天線103，耦合腔102內(nèi)設(shè)有位于風(fēng)冷天線103正下方的石英微波窗口104，耦合腔102周向分布有若干個散熱通孔115105，風(fēng)冷天線103的頂部側(cè)端設(shè)置有進(jìn)風(fēng)管106，風(fēng)冷天線103的底部設(shè)置有出風(fēng)口107，其特征在于：所述風(fēng)冷天線103的內(nèi)部還通過多個橫桿109設(shè)置有上端延伸至風(fēng)冷天線103上方的水冷管108，水冷管108的上端側(cè)部設(shè)置有進(jìn)水管110，水冷管108的底部設(shè)置有穿過風(fēng)冷天線103且向上穿過設(shè)備本體101頂壁的回水管111，水冷管108的頂部豎向貫穿且轉(zhuǎn)動設(shè)置有攪拌軸112，攪拌軸112的側(cè)端設(shè)置有與水冷管108相適配的攪拌葉片113，設(shè)備本體101上設(shè)置有用于對攪拌軸112進(jìn)行轉(zhuǎn)動驅(qū)動的驅(qū)動模塊，風(fēng)冷天線103的底部還設(shè)置有風(fēng)冷輔助模塊。

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