哈爾濱工業大學(深圳)(哈爾濱工業大學深圳科技創新研究院)陳燦強獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉哈爾濱工業大學(深圳)(哈爾濱工業大學深圳科技創新研究院)申請的專利一種等離子體增強原子層沉積設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223316781U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422814684.0，技術領域涉及：C23C16/455；該實用新型一種等離子體增強原子層沉積設備是由陳燦強;曹勇;郭宏輝;楊智;王岳凡;海旭設計研發完成，并于2024-11-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種等離子體增強原子層沉積設備在說明書摘要公布了：本實用新型涉及等離子體鍍膜領域，特別涉及一種等離子體增強原子層沉積設備。其包括真空腔組件、旋轉床組件、等離子體發生組件，真空腔組件包括旋轉床密封腔體、密封端蓋、旋轉床套件，旋轉床組件包括粉體旋轉床、旋轉床端蓋、出氣轉軸，出氣轉軸安裝在旋轉床密封腔體內，旋轉床組件位于旋轉床密封腔體內部，粉體旋轉床的一端與旋轉床端蓋連接，旋轉床端蓋與出氣轉軸連接，旋轉床套件連接在密封端蓋的內側，密封端蓋與旋轉床密封腔體連接，粉體旋轉床的另一端與旋轉床套件的間隙配合，密封端蓋的外側對接等離子體發生組件。改進了粉體材料沉積方式，并對旋轉床進行了快拆設計，提高材料處理效率。
本實用新型一種等離子體增強原子層沉積設備在權利要求書中公布了：1.一種等離子體增強原子層沉積設備，其特征在于，包括真空腔組件、旋轉床組件、等離子體發生組件，所述真空腔組件包括旋轉床密封腔體、密封端蓋、旋轉床套件，所述旋轉床組件包括粉體旋轉床、旋轉床端蓋、出氣轉軸，所述出氣轉軸安裝在旋轉床密封腔體內，所述旋轉床組件位于旋轉床密封腔體內部，所述粉體旋轉床的一端與旋轉床端蓋連接，所述旋轉床端蓋與出氣轉軸連接，所述旋轉床套件連接在密封端蓋的內側，所述密封端蓋與旋轉床密封腔體連接，所述粉體旋轉床的另一端與旋轉床套件的間隙配合，所述密封端蓋的外側對接等離子體發生組件。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人哈爾濱工業大學(深圳)(哈爾濱工業大學深圳科技創新研究院)，其通訊地址為：518055 廣東省深圳市南山區桃源街道深圳大學城哈爾濱工業大學校區；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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