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龍圖騰網(wǎng)獲悉安徽富樂德長江半導(dǎo)體材料股份有限公司申請(qǐng)的專利一種具有磁性自調(diào)節(jié)功能的晶圓快排槽獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119500719B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411682222.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B08B11/00；該發(fā)明授權(quán)一種具有磁性自調(diào)節(jié)功能的晶圓快排槽是由王剛;邵毅;馮校亮設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-22向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種具有磁性自調(diào)節(jié)功能的晶圓快排槽在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種具有磁性自調(diào)節(jié)功能的晶圓快排槽，涉及晶圓清洗技術(shù)領(lǐng)域。包括內(nèi)腔底部安裝有氮?dú)馄貧夤艿木A快排槽，所述晶圓快排槽上設(shè)置有噴淋管和用于對(duì)槽內(nèi)去離子水進(jìn)行電阻率檢測(cè)的檢測(cè)單元，所述晶圓快排槽靠近所述檢測(cè)單元一側(cè)的外壁上設(shè)置有磁體，所述磁體設(shè)置為電磁鐵，還包括安裝在所述晶圓快排槽上的自動(dòng)調(diào)磁單元，根據(jù)所述晶圓快排槽內(nèi)去離子水的溫度變化自動(dòng)調(diào)節(jié)所述磁體的磁性大小，以滿足利用磁場(chǎng)驅(qū)離氮?dú)馀莸囊蟆Ｐ酝ㄟ^設(shè)置的自動(dòng)調(diào)磁單元，根據(jù)晶圓快排槽內(nèi)去離子水的溫度變化自動(dòng)調(diào)節(jié)磁體的磁性大小，以滿足利用磁場(chǎng)驅(qū)離氮?dú)馀莸囊蟆?

本發(fā)明授權(quán)一種具有磁性自調(diào)節(jié)功能的晶圓快排槽在權(quán)利要求書中公布了：1.一種具有磁性自調(diào)節(jié)功能的晶圓快排槽，包括內(nèi)腔底部安裝有氮?dú)馄貧夤埽?）的晶圓快排槽（1），所述晶圓快排槽（1）上設(shè)置有噴淋管（4）和用于對(duì)槽內(nèi)去離子水進(jìn)行電阻率檢測(cè)的檢測(cè)單元（5），所述晶圓快排槽（1）靠近所述檢測(cè)單元（5）一側(cè)的外壁上設(shè)置有磁體（3），其特征在于；所述磁體（3）設(shè)置為電磁鐵，還包括安裝在所述晶圓快排槽（1）上的自動(dòng)調(diào)磁單元（6），根據(jù)所述晶圓快排槽（1）內(nèi)去離子水的溫度變化自動(dòng)調(diào)節(jié)所述磁體（3）的磁性大小，以滿足利用磁場(chǎng)驅(qū)離氮?dú)馀莸囊蟆?

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人安徽富樂德長江半導(dǎo)體材料股份有限公司，其通訊地址為：244000 安徽省銅陵市義安區(qū)南海路21號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。