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龍圖騰網(wǎng)獲悉無(wú)錫迪淵特科技有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利一種等離子體蝕刻機(jī)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119767551B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202411704242.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H05K3/06；該發(fā)明授權(quán)一種等離子體蝕刻機(jī)是由王迪杏;王寧;陸海濤設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-26向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種等離子體蝕刻機(jī)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及等離子體蝕刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種等離子體蝕刻機(jī)，包括安裝單元、翻轉(zhuǎn)單元、等離子體蝕刻組件和清理單元，安裝單元包括蝕刻機(jī)本體，蝕刻機(jī)本體一側(cè)壁固定安裝有安裝殼體，蝕刻機(jī)本體內(nèi)腔安裝有凹型放置殼體。本發(fā)明，當(dāng)L形連接桿水平移動(dòng)的時(shí)候?qū)⒛軌驇?dòng)齒條水平移動(dòng)，齒條水平移動(dòng)的時(shí)候?qū)⒛軌驇?dòng)齒環(huán)在轉(zhuǎn)桿的輔助下進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候?qū)⒛軌驇?dòng)回形安裝框進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，而回形安裝框內(nèi)設(shè)置有夾持組件，通過(guò)夾持組件能夠?qū)Ρ环胖玫牟牧线M(jìn)行夾持，從而使得此時(shí)被夾持的材料也能夠進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)換面，同時(shí)安裝板移動(dòng)的時(shí)候?qū)⒛軌蛲ㄟ^(guò)L形擠壓桿推動(dòng)等離子體蝕刻組件在滑軌的輔助下能夠位于翻轉(zhuǎn)后的材料上方。

本發(fā)明授權(quán)一種等離子體蝕刻機(jī)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種等離子體蝕刻機(jī)，包括安裝單元（100）、翻轉(zhuǎn)單元（200）、等離子體蝕刻組件（300）和清理單元（400），其特征在于， 所述安裝單元（100）包括蝕刻機(jī)本體（101），所述蝕刻機(jī)本體（101）一側(cè)壁固定安裝有安裝殼體（102），所述蝕刻機(jī)本體（101）內(nèi)腔安裝有凹型放置殼體（106），所述蝕刻機(jī)本體（101）上方設(shè)置有密封門(mén)（103），所述蝕刻機(jī)本體（101）上分別設(shè)置有第一連接管道（104）和第二連接管道（105），所述第一連接管道（104）和第二連接管道（105）另一端分別連接在安裝殼體（102）內(nèi)，所述第一連接管道（104）和第二連接管道（105）上分別設(shè)置有抽氣泵（1041）和進(jìn)氣泵（1051）,所述安裝殼體（102）底部設(shè)置有出水口（1022）； 所述翻轉(zhuǎn)單元（200）包括第一放置板（201）和第二放置板（2011），所述第二放置板（2011）上方開(kāi)設(shè)有放置槽口（2012），所述第一放置板（201）上方設(shè)置有回形安裝框（2013），所述回形安裝框（2013）內(nèi)腔四周均設(shè)置有多個(gè)等距分布設(shè)置的夾持組件（2014），所述回形安裝框（2013）一側(cè)壁固定貫穿有轉(zhuǎn)桿（2032），所述轉(zhuǎn)桿（2032）兩端分別設(shè)置有軸承（2033），所述軸承（2033）分別安裝在凹型放置殼體（106）相對(duì)的兩側(cè)壁，所述轉(zhuǎn)桿（2032）上方設(shè)置有傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)桿（2032）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)； 所述凹型放置殼體（106）于第一連接管道（104）處固定安裝有圓形安裝筒（202），所述圓形安裝筒（202）內(nèi)腔密封設(shè)置有活塞板（2021），所述活塞板（2021）遠(yuǎn)離第一連接管道（104）的一端固定連接有移動(dòng)桿（2022），所述移動(dòng)桿（2022）另一端活動(dòng)貫穿于圓形安裝筒（202），所述圓形安裝筒（202）底部開(kāi)設(shè)有出氣口（2028）；所述移動(dòng)桿（2022）遠(yuǎn)離活塞板（2021）的一端固定連接有安裝板（2023），所述安裝板（2023）兩端分別設(shè)置有第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)第二滑槽（2025），兩個(gè)所述第二滑槽（2025）分別開(kāi)設(shè)在凹型放置殼體（106）相對(duì)的兩側(cè)壁，兩個(gè)所述第二滑槽（2025）相互對(duì)稱(chēng)，兩個(gè)所述第二滑槽（2025）內(nèi)腔均滑動(dòng)安裝有第二滑塊（2026），兩個(gè)所述第二滑塊（2026）相對(duì)的一側(cè)壁固定連接在安裝板（2023）上，兩個(gè)所述第二滑槽（2025）內(nèi)壁固定安裝有第二復(fù)位彈簧（2027），兩個(gè)所述第二復(fù)位彈簧（2027）另一端固定連接在第二滑塊（2026）上，所述安裝板（2023）上方固定安裝有L形擠壓桿（2024），所述安裝板（2023）一側(cè)壁底部還固定安裝有L形連接桿（203）； 所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括齒條（2031），所述齒條（2031）一端固定連接在L形連接桿（203）一端，所述齒條（2031）下方嚙合安裝有齒環(huán)（2034），所述齒環(huán)（2034）固定安裝在轉(zhuǎn)桿（2032）上；當(dāng)氣體進(jìn)入內(nèi)腔時(shí)，頂動(dòng)活塞板（2021）帶動(dòng)移動(dòng)桿（2022）以及安裝板（2023）移動(dòng)，安裝板（2023）帶動(dòng)L型擠壓桿推動(dòng)等離子體蝕刻組件移動(dòng)，安裝板（2023）還通過(guò)L型連接桿（203）、齒條（2031）以及齒環(huán)（2034）的聯(lián)動(dòng)，帶動(dòng)回型安裝框及其上夾持的材料進(jìn)行翻面，并在關(guān)閉氣泵后，在多個(gè)復(fù)位彈簧的共同作用下，使等離子體蝕刻組件和回型安裝框復(fù)位； 所述清理單元（400）包括過(guò)濾板（401），所述過(guò)濾板（401）上方安裝有水箱（4011），所述水箱（4011）和安裝殼體（102）上設(shè)置有進(jìn)水口（1021），所述水箱（4011）內(nèi)腔轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有圓形轉(zhuǎn)動(dòng)筒（4013），所述圓形轉(zhuǎn)動(dòng)筒（4013）活動(dòng)貫穿于過(guò)濾板（401），所述圓形轉(zhuǎn)動(dòng)筒（4013）于水箱（4011）內(nèi)腔固定安裝有圓筒密封殼（4012），所述圓筒密封殼（4012）和圓形轉(zhuǎn)動(dòng)筒（4013）相互貼合，所述圓筒密封殼（4012）和圓形轉(zhuǎn)動(dòng)筒（4013）上均開(kāi)設(shè)有過(guò)濾孔，所述圓形轉(zhuǎn)動(dòng)筒（4013）底部設(shè)置有多個(gè)噴灑頭（4014）。

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