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龍圖騰網(wǎng)獲悉廣納四維(廣東)光電科技有限公司申請(qǐng)的專利一種體全息光波導(dǎo)曝光設(shè)備獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223320749U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422911992.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該實(shí)用新型一種體全息光波導(dǎo)曝光設(shè)備是由付晨;李曉軍;史瑞設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-27向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種體全息光波導(dǎo)曝光設(shè)備在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開了一種體全息光波導(dǎo)曝光設(shè)備，在一個(gè)待曝光區(qū)域面積較大時(shí)，可以通過多個(gè)擋板切換進(jìn)行多次曝光的方式，完成對(duì)該待曝光區(qū)域的拼接曝光，不同型號(hào)的光波導(dǎo)或不同形狀的待曝光區(qū)域可以重復(fù)利用擋板和掩膜版，在一定程度上增加了擋板和掩膜版的利用率，降低了制作擋板和掩膜版的成本。

本實(shí)用新型一種體全息光波導(dǎo)曝光設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種體全息光波導(dǎo)曝光設(shè)備，其特征在于，包括：沿曝光光束傳輸方向依次設(shè)置的擋板組件、掩膜版組件以及用于承載被曝光的波導(dǎo)片的工件臺(tái)； 所述擋板組件包括多個(gè)擋板模塊，所述擋板模塊包括至少一個(gè)擋板，所述擋板包括透光區(qū)；當(dāng)所述擋板模塊包括多個(gè)擋板時(shí)，不同所述擋板中的透光區(qū)的形狀和或大小不同，所述擋板模塊中的各所述擋板的透光區(qū)能夠拼接形成所述波導(dǎo)片上的一個(gè)待曝光區(qū)域，不同所述擋板模塊之間以及同一所述擋板模塊中的不同擋板之間能夠進(jìn)行切換； 所述掩膜版組件包括至少一個(gè)掩膜版，所述掩膜版包括周期性光柵掩膜結(jié)構(gòu)，其中，對(duì)所述波導(dǎo)片的一個(gè)待曝光區(qū)域進(jìn)行曝光時(shí)，與所述待曝光區(qū)域當(dāng)前次曝光對(duì)應(yīng)的擋板和掩膜版能夠同時(shí)被切換至所述曝光光束傳輸?shù)穆窂缴稀?

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人廣納四維(廣東)光電科技有限公司，其通訊地址為：510530 廣東省廣州市黃埔區(qū)姬火路6號(hào)中巨科學(xué)創(chuàng)新城A2-1棟1樓和6樓；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。