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龍圖騰網(wǎng)獲悉無錫互創(chuàng)芯微半導(dǎo)體科技有限公司申請(qǐng)的專利一種靜電吸盤加工裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119673854B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411829851.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)一種靜電吸盤加工裝置是由白軍軍設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-12-12向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種靜電吸盤加工裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及靜電吸盤設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種靜電吸盤加工裝置，包括由上至下相互同心連接的上層單元、中層單元、下層單元，上層單元包括第一盤體和第二盤體配合在水平面上形成波浪形的首位連通的空隙，空隙上還設(shè)有進(jìn)一步靠近第一盤體圓心并間隔設(shè)置的凸起滑軌形成固定滑道，下層單元包括具有內(nèi)齒的底座，底座的底座上還設(shè)置有底座環(huán)槽，底座環(huán)槽內(nèi)設(shè)置有起伏部。通過設(shè)置的上層單元用于控制切入單元在其上運(yùn)動(dòng)軌跡，中層單元控制切入單元在水平滑移，下層單元控制切入單元上下滑移，實(shí)現(xiàn)嵌入靜電吸盤間的縫隙，抬升后，將靜電吸盤間的縫隙展開。

本發(fā)明授權(quán)一種靜電吸盤加工裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種靜電吸盤加工裝置，其特征在于：包括由上至下相互同心連接的上層單元（1）、中層單元（2）、下層單元（5）； 所述上層單元（1）包括第一盤體（11）和第二盤體（12）配合在水平面上形成波浪形的首尾連通的空隙（13），空隙（13）上還設(shè)有進(jìn)一步靠近第一盤體（11）圓心并間隔設(shè)置的凸起滑軌形成固定滑道； 所述下層單元（5）包括具有內(nèi)齒的底座（51），底座（51）的底座上還設(shè)置有底座環(huán)槽（52），底座環(huán)槽（52）內(nèi)設(shè)置有起伏部（53）； 還包括旋轉(zhuǎn)單元（3）和切入單元（4），旋轉(zhuǎn)單元（3）嵌入式設(shè)置于中層單元（2）的內(nèi)壁并在其內(nèi)壁上旋轉(zhuǎn)，連接在旋轉(zhuǎn)單元（3）上的切入單元（4）沿空隙（13）和起伏部（53）的軌跡配合，切入單元（4）上的切入刀（41）沿固定滑道與靜電吸盤縫隙抵持配合，切入單元（4）驅(qū)動(dòng)底座（51）轉(zhuǎn)動(dòng)將其抬升從而使得靜電吸盤展開拆卸。

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