安徽安努奇科技有限公司周志虎獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉安徽安努奇科技有限公司申請的專利一種體聲波諧振器及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119561517B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510128207.5,技術領域涉及:H03H9/17;該發明授權一種體聲波諧振器及其制備方法是由周志虎;何軍設計研發完成,并于2025-02-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種體聲波諧振器及其制備方法在說明書摘要公布了:本申請公開了一種體聲波諧振器及其制備方法,涉及微機電系統技術領域,本申請的體聲波諧振器,包括襯底以及依次設置于襯底上的底電極、壓電層和頂電極,襯底內形成有聲反射結構,底電極、壓電層、頂電極以及聲反射結構在襯底上的投影重疊的區域為有效諧振區,在有效諧振區邊緣,頂電極向上彎曲與壓電層之間形成間隙,頂電極上表面上形成有加強結構,加強結構的導電率大于頂電極的導電率,且加強結構在襯底上的投影大于等于間隙在襯底上的投影。本申請提供的體聲波諧振器及其制備方法,能夠提高體聲波諧振器的Q值以及可靠性。
本發明授權一種體聲波諧振器及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種體聲波諧振器,其特征在于,包括襯底以及依次設置于所述襯底上的底電極、壓電層和頂電極,所述襯底內形成有聲反射結構,所述底電極、所述壓電層、所述頂電極以及所述聲反射結構在襯底上的投影重疊的區域為有效諧振區,在所述有效諧振區邊緣,所述頂電極向上彎曲與所述壓電層之間形成間隙,所述頂電極上表面上形成有加強結構,所述加強結構的導電率大于所述頂電極的導電率,且所述加強結構在所述襯底上的投影大于等于所述間隙在所述襯底上的投影;所述頂電極上還設置有鈍化層,所述加強結構與所述鈍化層同層設置,所述頂電極跨過所述間隙形成焊盤,所述加強結構包括設置于間隙上的加強部和設置于所述焊盤上的連接部;所述頂電極包括設置于有效諧振區的電極部以及設置于所述間隙上的跨接部,所述加強結構與所述跨接部材料相同,且均不同于所述電極部。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人安徽安努奇科技有限公司,其通訊地址為:230088 安徽省合肥市高新區創新大道2800號創新產業園二期J1棟C座602室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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