深圳大學黃磊獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳大學申請的專利掩模圖像生成方法、裝置、電子設備和存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120339444B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510772327.9，技術領域涉及：G06T11/00；該發明授權掩模圖像生成方法、裝置、電子設備和存儲介質是由黃磊;詹灝民;張猛;周宇;陸磊;韓子娟設計研發完成，并于2025-06-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本掩模圖像生成方法、裝置、電子設備和存儲介質在說明書摘要公布了：本申請公開了一種掩模圖像生成方法、裝置、電子設備和存儲介質，屬于光刻領域。用于光刻機的掩模圖像生成方法，包括：獲取多個目標工藝參數；將多個目標工藝參數輸入至目標網絡模型的多層感知層，獲取多層感知層輸出的目標重構圖像；將目標重構圖像、目標期望掩模圖像和目標照明圖像輸入至目標網絡模型的生成對抗網絡層，獲取生成對抗網絡層輸出的目標掩模圖像。本申請的用于光刻機的掩模圖像生成方法，能夠適用于不同的光刻機以及光刻環境，進行自適應調整，從而得到更加精準的掩模圖像，提高光刻系統的分辨率，具有較高的靈活性和普適性。
本發明授權掩模圖像生成方法、裝置、電子設備和存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種用于光刻機的掩模圖像生成方法，其特征在于，包括： 獲取多個目標工藝參數； 將所述多個目標工藝參數輸入至目標網絡模型的多層感知層，獲取所述多層感知層輸出的目標重構圖像； 將所述目標重構圖像、目標期望掩模圖像和目標照明圖像輸入至所述目標網絡模型的生成對抗網絡層，獲取所述生成對抗網絡層輸出的目標掩模圖像；其中， 所述目標掩模圖像用于供所述光刻機曝光，所述多層感知層的輸出端與所述生成對抗網絡層的輸入端連接；所述目標網絡模型基于多個訓練樣本訓練得到； 所述將所述多個目標工藝參數輸入至目標網絡模型的多層感知層，獲取所述多層感知層輸出的目標重構圖像，包括： 將所述多個目標工藝參數輸入至目標網絡模型的多層感知層，由所述多層感知層學習各所述目標工藝參數的影響權重，將各所述目標工藝參數映射為目標特征向量，所述目標特征向量用于表征各所述目標工藝參數之間的關聯關系； 將所述目標特征向量重構為單通道圖像，得到所述目標重構圖像。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳大學，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市南山區粵海街道南海大道3688號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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