比亞迪股份有限公司;比亞迪汽車工業(yè)有限公司王軍獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉比亞迪股份有限公司;比亞迪汽車工業(yè)有限公司申請(qǐng)的專利碳化硅外延片及其制備方法和功率器件獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN120321995B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202510775672.8,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10D62/832;該發(fā)明授權(quán)碳化硅外延片及其制備方法和功率器件是由王軍;周芮;湯文輝;黃雪楓;周維設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2025-06-11向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本碳化硅外延片及其制備方法和功率器件在說明書摘要公布了:本發(fā)明屬于功率器件領(lǐng)域,具體公開了一種碳化硅外延片及其制備方法和功率器件,其中碳化硅外延片包括:碳化硅襯底;緩沖層,緩沖層包括第一緩沖層和第二緩沖層,第一緩沖層設(shè)置在碳化硅襯底的一側(cè)表面,第二緩沖層設(shè)置在第一緩沖層的遠(yuǎn)離碳化硅襯底的表面;碳化硅外延層,碳化硅外延層設(shè)置在第二緩沖層的遠(yuǎn)離碳化硅襯底的表面;其中,碳化硅襯底與水的接觸角為θ1,第一緩沖層與水的接觸角為θ2,第二緩沖層與水的接觸角為θ3,滿足θ1θ2,且θ2θ3。申請(qǐng)通過精確控制緩沖層接觸角的分布,有利于得到高晶體質(zhì)量的緩沖層,進(jìn)而有利于得到具有低缺陷密度、高晶體質(zhì)量的碳化硅外延片。
本發(fā)明授權(quán)碳化硅外延片及其制備方法和功率器件在權(quán)利要求書中公布了:1.一種碳化硅外延片,其特征在于,包括: 碳化硅襯底; 緩沖層,所述緩沖層包括第一緩沖層和第二緩沖層,所述第一緩沖層設(shè)置在所述碳化硅襯底的一側(cè)表面,所述第二緩沖層設(shè)置在所述第一緩沖層的遠(yuǎn)離所述碳化硅襯底的表面; 碳化硅外延層,所述碳化硅外延層設(shè)置在所述第二緩沖層的遠(yuǎn)離所述碳化硅襯底的表面; 其中,所述碳化硅襯底與水的接觸角為θ1,所述第一緩沖層與水的接觸角為θ2,所述第二緩沖層與水的接觸角為θ3,滿足θ1θ2,且θ2θ3。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人比亞迪股份有限公司;比亞迪汽車工業(yè)有限公司,其通訊地址為:518118 廣東省深圳市坪山區(qū)比亞迪路3009號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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