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龍圖騰網獲悉新毅東(北京)科技有限公司申請的專利光刻機可變狹縫的控制方法、系統以及光刻機獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120276220B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510780757.5，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權光刻機可變狹縫的控制方法、系統以及光刻機是由張琪;符友銀;金建設計研發完成，并于2025-06-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本光刻機可變狹縫的控制方法、系統以及光刻機在說明書摘要公布了：本申請提供了一種光刻機可變狹縫的控制方法、系統以及光刻機，其中，該方法包括：全局控制器獲取驅動裝置中各電機的當前狀態數據，全局控制器根據驅動裝置中各電機之間的關聯關系，確定至少一個電機組，全局控制器根據目標電機組中的各電機的當前狀態數據，基于預先訓練得到的行為預測模型進行協同預測，得到目標電機組中各電機在未來至少一個時間步的行為預測數據，并將各行為預測數據發送給分布式協同控制網絡，分布式協同控制網絡根據各行為預測數據并經由各電機控制器控制各電機運行。本申請實現了多電機的協同控制，提升了電機控制的實時性以及系統的抗干擾能力。

本發明授權光刻機可變狹縫的控制方法、系統以及光刻機在權利要求書中公布了：1.一種光刻機可變狹縫的控制方法，其特征在于，應用于控制系統，所述控制系統包括：全局控制器、分布式協同控制網絡以及驅動裝置，所述驅動裝置包括：多個電機以及與各電機對應連接的電機控制器；所述方法包括： 所述全局控制器獲取所述驅動裝置中各電機的當前狀態數據，所述當前狀態數據包括如下至少一種：各電機的速度、位置、外部擾動信息； 所述全局控制器根據所述驅動裝置中各電機之間的關聯關系，確定至少一個電機組，各所述電機組中包括多個所述電機，需要進行同步控制的刀片所連接的電機在同一電機組內，且同一電機組內的第一電機的移動信息受第二電機的影響； 所述全局控制器根據目標電機組中的各電機的當前狀態數據，基于預先訓練得到的行為預測模型進行協同預測，得到所述目標電機組中各電機在未來至少一個時間步的行為預測數據，并將各所述行為預測數據發送給所述分布式協同控制網絡，所述行為預測數據包括：所述目標電機組中各電機的預測速度、預測位置； 所述分布式協同控制網絡根據各所述行為預測數據并經由各所述電機控制器控制各所述電機運行。

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